买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉广东凯迪微智能装备有限公司申请的专利半导体晶圆清洗效果的实时检测与监控方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119965108B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510039399.2，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权半导体晶圆清洗效果的实时检测与监控方法是由江永;熊伟设计研发完成，并于2025-01-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体晶圆清洗效果的实时检测与监控方法在说明书摘要公布了：本发明涉及信息技术领域，具体涉及半导体晶圆制造技术领域的半导体晶圆清洗效果的实时检测与监控方法，包括：引入快速化学分析技术，结合电化学传感器和光谱分析，实时监测晶圆表面的金属离子残留，缩短检测周期，实现生产线上的即时反馈；构建实时反馈控制系统，根据综合评估模型的输出，自动调整清洗设备的工作参数，优化清洗过程，减少清洗液的使用量和环境影响；集成边缘计算技术，将数据处理和分析任务下沉到清洗设备端，减少数据传输延迟，提高实时监控和反馈控制的响应速度；开发可视化监控平台，将清洗过程的关键参数、检测结果和预测趋势以图形化方式展示，便于操作人员实时掌握清洗状态，快速响应异常情况。

本发明授权半导体晶圆清洗效果的实时检测与监控方法在权利要求书中公布了：1.半导体晶圆清洗效果的实时检测与监控方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤： 步骤S101、采用高灵敏度纳米级颗粒检测技术，利用光学传感设备，捕捉晶圆表面亚纳米级颗粒的散射信号，通过信号放大和噪声抑制算法，提高颗粒检测的灵敏度和准确性； 步骤S102、引入快速化学分析技术，结合电化学传感器和光谱分析，实时监测晶圆表面的金属离子残留，缩短检测周期，实现生产线上的即时反馈； 步骤S103、设计智能参数监控系统，实时采集清洗液的组分、浓度、温度及清洗时间的参数，利用机器学习算法分析参数波动对清洗效果的影响，动态调整清洗工艺参数，确保清洗效果稳定； 步骤S104、开发多模态数据融合算法，将光学检测数据、化学分析数据和清洗参数数据整合，构建综合评估模型，全面评估晶圆清洗效果，提高检测结果的可靠性； 步骤S105、应用深度学习图像处理技术，对捕获的晶圆表面图像进行去噪、增强和特征提取，精确识别和量化纳米级颗粒，生成高分辨率的表面洁净度分布图； 步骤S106、构建实时反馈控制系统，根据综合评估模型的输出，自动调整清洗设备的工作参数，优化清洗过程，减少清洗液的使用量和环境影响； 步骤S107、设计数据驱动的清洗效果预测模型，利用历史清洗数据和实时监测数据，预测未来清洗效果的趋势，提前预警潜在问题，提升生产线的预防性维护能力； 步骤S108、集成边缘计算技术，将数据处理和分析任务下沉到清洗设备端，减少数据传输延迟，提高实时监控和反馈控制的响应速度； 步骤S109、开发可视化监控平台，将清洗过程的关键参数、检测结果和预测趋势以图形化方式展示，便于操作人员实时掌握清洗状态，快速响应异常情况。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人广东凯迪微智能装备有限公司，其通讯地址为：523000 广东省东莞市大朗镇大朗富通路330号6栋302室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。