北京艾博智业离子技术有限公司李英东获国家专利权
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龙图腾网获悉北京艾博智业离子技术有限公司申请的专利一种离子减薄样品台及其减薄仪获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119984991B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510198509.X,技术领域涉及:G01N1/28;该发明授权一种离子减薄样品台及其减薄仪是由李英东设计研发完成,并于2025-02-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种离子减薄样品台及其减薄仪在说明书摘要公布了:一种离子减薄样品台及其减薄仪,样品夹持单元将待减薄的样品进行夹持固定;转动减薄单元对样品夹持单元夹持的样品进行转动,离子束轰击待减薄样品的上下两面进行减薄;位置调节单元对夹持的样品进行高度和角度的调节,保证离子束轰击到待减薄样品的中心,对样品均匀减薄得到薄膜。本发明实现样品台的平稳转动,对样品进行均匀有效减薄;有效倾斜角度为7~15度,在离子束透射下于中心点的周围形成薄区,降低样品的放置要求,使样品的夹持更加稳固。
本发明授权一种离子减薄样品台及其减薄仪在权利要求书中公布了:1.一种离子减薄样品台,其特征在于,包括样品夹持单元、转动减薄单元以及位置调节单元;所述样品夹持单元将待减薄的样品进行夹持固定;所述样品夹持单元包括样品座、弹簧卡箍以及夹片;所述夹片为两片相同的凸形双眼膜,所述夹片整体为圆环形,包括中心孔以及缺口;所述夹片的圆心与所述夹片的外圆周的连线的角度为1~10°; 所述转动减薄单元对所述样品夹持单元夹持的样品进行转动,对待减薄样品的上下两面进行离子束轰击,对样品进行减薄;所述转动减薄单元包括转动轮、隅环以及隅环上设置的滚珠;所述隅环上设置有n排滚珠,n≥2,所述滚珠在所述隅环上沿环向等间距均匀设置;滚珠沿着转动轮的中心进行对称设置,转动轮的中心与滚珠的连线中心位于同一条竖直线上; 所述位置调节单元对夹持的样品进行高度和角度的调节,保证离子束轰击到待减薄样品的中心,对样品进行均匀减薄,得到薄膜样品;所述位置调节单元包括支撑座以及位于所述支撑座上的调节装置;所述调节装置包括X轴向调节装置、Y轴向调节装置、Z轴向调节装置以及锁紧装置;通过所述调节装置进行位置调节时,首先放松所述锁紧装置,先通过所述Y轴向调节装置对Y轴向进行调节,之后再通过所述Z轴向调节装置对Z轴向进行调节;三向全部调节完成后,拧紧所述锁紧装置进行锁紧固定。
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