中国科学院长春光学精密机械与物理研究所孟浩然获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利幅值监测的阵列波导光栅分光动态干涉仪获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120008459B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510292249.2,技术领域涉及:G01B9/02015;该发明授权幅值监测的阵列波导光栅分光动态干涉仪是由孟浩然;洛猛;高丹恒;刘佳豪设计研发完成,并于2025-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本幅值监测的阵列波导光栅分光动态干涉仪在说明书摘要公布了:本发明涉及一种幅值监测的阵列波导光栅分光动态干涉仪,其光纤分束器位于光发射器的出射光路上,光纤分束器用于将入射侧入射的光束分为两路在出射侧输出,一路通过光纤入射至光强检测件,另一路通过光纤入射至准直件的入射端。准直件的出射端布置有二分之一波片和分光棱镜。二分之一波片位于准直件的出射端和分光棱镜之间,准直光束被分光棱镜分为沿第一光路传输的第一光束和沿第二光路传输的第二光束,第一光束经过反射镜反射回分光棱镜。第二光束经过待测表面反射回分光棱镜。反射回到分光棱镜的第一光束和第二光束相互干涉,并记录干涉图像于相机。可以实现对待测表面的波前图像的精准测量。
本发明授权幅值监测的阵列波导光栅分光动态干涉仪在权利要求书中公布了:1.一种幅值监测的阵列波导光栅分光动态干涉仪,其特征在于,包括光发射器、光纤分束器、光强检测件、准直件、成像系统、相机和控制器; 所述光纤分束器位于所述光发射器的出射光路上,所述光纤分束器用于将入射侧入射的光束分为两路在出射侧输出,一路通过光纤入射至所述光强检测件,另一路通过光纤入射至所述准直件的入射端;所述控制器用于根据所述光强检测件获得的光强和设定光强之间的差值,调整所述光发射器发射的光束的光强; 所述成像系统包括二分之一波片、分光棱镜和反射镜;所述准直件的出射端布置有所述二分之一波片和所述分光棱镜;所述二分之一波片位于所述准直件的出射端和所述分光棱镜之间,所述准直件的出射端用于出射准直光束,所述准直光束经过所述二分之一波片,并被所述分光棱镜分为沿第一光路传输的第一光束和沿第二光路传输的第二光束,所述第一光束经过所述反射镜反射回所述分光棱镜;所述第二光束经过待测表面反射回所述分光棱镜;反射回到所述分光棱镜的所述第一光束和所述第二光束相互干涉,并记录干涉图像于所述相机。
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