西安交通大学夏勇获国家专利权
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龙图腾网获悉西安交通大学申请的专利一种MEMS热电堆结构及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120018756B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510150730.8，技术领域涉及：H10N10/17；该发明授权一种MEMS热电堆结构及其制备方法是由夏勇;唐昊;赵立波;韩香广;贾琛;赵阳;单王珍;景蔚萱设计研发完成，并于2025-02-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MEMS热电堆结构及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种MEMS热电堆结构及其制备方法，属于微电子机械系统技术领域，MEMS热电堆结构，其特征在于，包括一次设置的衬底、支撑膜Ⅰ和支撑膜Ⅱ，支撑膜Ⅱ上设置有电极和若干从热端向冷端以辐射状布置的热偶条组；热偶条组为曲线形，包括由上至下依次设置的第二热偶条、绝缘夹层和第一热偶条；支撑膜Ⅱ、电极和热偶条组成的结构上覆盖有红外吸收层及钝化层；第二热偶条和电极的材料相同；第二热偶条末端向下延伸与第一热偶条末端连接形成热电堆的冷端，首端通过与相邻的第一热偶条首端连接形成热电堆的热端；一组热偶条的第一热偶条和第二热偶条的末端分别于两个电极连接。提高了MEMS热电堆温度传感器的响应率、线性度、稳定性等传感性能。
本发明授权一种MEMS热电堆结构及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种MEMS热电堆结构，其特征在于，包括衬底1，所述衬底1上依次设置有支撑膜Ⅰ2和支撑膜Ⅱ3，所述支撑膜Ⅱ3上设置有电极8和若干从热端向冷端以辐射状布置的热偶条组；所述热偶条组为曲线形，包括由上至下依次设置的第二热偶条6、绝缘夹层5和第一热偶条4；所述支撑膜Ⅱ3、电极8和热偶条组成的结构上覆盖有红外吸收层及钝化层7；所述第二热偶条6和电极8的材料相同； 所述第二热偶条6末端向下延伸与第一热偶条4末端连接形成热电堆的冷端，首端通过串联导线9与沿顺时针或逆时针方向相邻的第一热偶条4首端连接形成热电堆的热端；其中，一组热偶条组中的第一热偶条4和第二热偶条6的末端分别于两个电极8连接。
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