深圳市新凯来工业机器有限公司陈锐荣获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市新凯来工业机器有限公司申请的专利磁场调节机构、反应室及等离子体设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120048716B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510239031.0,技术领域涉及:H01J37/32;该发明授权磁场调节机构、反应室及等离子体设备是由陈锐荣;李振宇;盛培秀;邓鹏设计研发完成,并于2025-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本磁场调节机构、反应室及等离子体设备在说明书摘要公布了:本申请实施例提供一种磁场调节机构、反应室及等离子体设备。磁场调节机构应用于等离子体设备的反应室,反应室设有反应腔室,磁场调节机构包括磁性组件和导向组件,磁性组件用于在反应腔室内产生第一磁场;磁性组件活动连接于导向组件,磁性组件能够沿导向组件的周向移动,并且能够沿导向组件的轴向或和径向移动,以调节第一磁场。本申请实施例中,通过设置磁性组件活动连接于导向组件,磁性组件能够在导向组件上进行多向移动,因此可以灵活地调整磁性组件的位置和方向,增强了应用第一磁场调整反应室内的磁场分布,从而调整反应腔室内的等离子体的分布的灵活性。
本发明授权磁场调节机构、反应室及等离子体设备在权利要求书中公布了:1.一种磁场调节机构,应用于等离子体设备的反应室,所述反应室设有反应腔室,其特征在于,包括: 磁性组件,所述磁性组件用于在所述反应腔室内产生第一磁场; 导向组件,所述磁性组件活动连接于所述导向组件,所述磁性组件能够沿所述导向组件的周向、轴向和径向移动,以调节所述第一磁场; 所述导向组件包括第一导向件、第二导向件和第三导向件,所述第三导向件活动设置于所述第二导向件,所述第三导向件能够沿所述轴向在所述第二导向件上移动,所述磁性组件活动设置于所述第三导向件,所述磁性组件能够沿所述径向在所述第三导向件上移动。
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