珠海基石科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海基石科技有限公司申请的专利分散液、研磨组合物及其应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120059673B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510252909.4,技术领域涉及:C09K3/14;该发明授权分散液、研磨组合物及其应用是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2025-03-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本分散液、研磨组合物及其应用在说明书摘要公布了:本申请实施例提供了分散液、研磨组合物及其应用。该分散液包括:溶剂、无机纳米颗粒、电导率调节剂、阴离子型聚合物以及非阴离子型聚合物;所述分散液的电导率≥5mscm。该分散液与氧化剂复配后可得到研磨组合物,该研磨组合物尤其适用于同时具有金属钨和电介质材料的结构的平整化处理,采用该研磨组合物处理后的金属钨的平整化效果较好,且研磨后的器件表面的Topology可满足高性能半导体器件的要求。
本发明授权分散液、研磨组合物及其应用在权利要求书中公布了:1.一种分散液,其特征在于,包括:溶剂、无机纳米颗粒、电导率调节剂、阴离子型聚合物以及非阴离子型聚合物;所述分散液的电导率≥6mscm 所述阴离子型聚合物包括聚丙烯酸、聚甲基丙烯酸、聚马来酸、马来酸丙烯酸共聚物、以及聚2-丙烯酰胺-2-甲基-1-丙磺酸中的一种或多种; 所述非阴离子型聚合物包括聚乙烯吡咯烷酮、聚丙烯酰胺、聚N-异丙基丙烯酰胺、以及聚N-乙烯基乙酰胺中的一种或多种; 所述分散液的pH值为2-6。
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