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龙图腾网获悉合肥维信诺科技有限公司申请的专利蒸镀装置、显示面板及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120138563B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510626740.4，技术领域涉及：C23C14/24；该发明授权蒸镀装置、显示面板及其制备方法是由任兴凤;祖朝设计研发完成，并于2025-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本蒸镀装置、显示面板及其制备方法在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种蒸镀装置、显示面板及其制备方法。蒸镀装置包括多个蒸镀源、具有朝向多个蒸镀源的承载面的载台和位于承载面和多个蒸镀源之间的遮挡掩模板。承载面用于承载母板。遮挡掩模板具有主体部和由主体部围合形成的多个蒸镀开口，主体部上设置有对应于母板上至少一个第一对位标记的至少一个第二对位标记。在至少一个第二对位标记与至少一个第一对位标记配合对位后，面板部从对应的蒸镀开口露出、并与多个蒸镀源中的至少部分相对。本申请实施例可以减少蒸镀源与母板的位置对位偏差，从而提高发光器件的对位精度，进一步提高显示面板的显示效果。

本发明授权蒸镀装置、显示面板及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种蒸镀装置，其特征在于，用于蒸镀显示面板的母板，所述母板包括空白部和多个面板部，相邻的至少两个所述面板部被所述空白部隔开，所述空白部设置有多个第一对位标记和多个测试端子，所述测试端子与对应的所述面板部电连接，所述多个第一对位标记至少包括一个第五子对位标记，所述第五子对位标记具有第二图案，所述蒸镀装置包括： 多个蒸镀源； 载台，具有朝向所述多个蒸镀源的承载面，所述承载面用于承载所述母板； 遮挡掩模板，位于所述承载面与所述多个蒸镀源之间，具有主体部和由所述主体部围合形成的多个蒸镀开口，所述主体部上设置有对应于至少一个第一对位标记的多个第二对位标记，所述多个第一对位标记的数量小于所述多个第二对位标记的数量，所述多个第二对位标记至少包括与所述第五子对位标记对应的多个第六子对位标记，所述第六子对位标记具有与所述第二图案相配合的第二开口； 其中，在所述多个第二对位标记与所述多个第一对位标记配合对位后： 所述面板部从对应的所述蒸镀开口露出、并与所述多个蒸镀源至少部分相对，使得所述多个蒸镀源内的蒸镀材料在蒸镀工艺中被喷射于所述面板部上； 所述第二开口靠近所述多个测试端子中的至少一个设置，所述第二图案的部分从多个所述第二开口中露出，且所述第二图案在所述承载面上的正投影面积，大于多个所述第二开口的外边缘在所述承载面上的正投影围合形成的形状的总面积；以及， 所述主体部将所述多个测试端子与所述多个蒸镀源隔开，以遮挡所述蒸镀材料向所述测试端子上喷射，使得在所述蒸镀工艺结束后、且在黄光制程开始前，所述测试端子被暴露。

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