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龙图腾网获悉东莞市粤成新材料有限公司申请的专利对晶圆表面抛光的CMP浆料组合物及制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120209713B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510353868.8，技术领域涉及：C09G1/02；该发明授权对晶圆表面抛光的CMP浆料组合物及制备方法是由黎持荣;饶美情设计研发完成，并于2025-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本对晶圆表面抛光的CMP浆料组合物及制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供对晶圆表面抛光的CMP浆料组合物制备方法，包括以下组分：溶剂；多层复合磨粒0.5‑20w%；分散剂0.01‑5w%，其中：所述多层磨料包括纳米二氧化硅内核，氧化铝连接层，以及分布在氧化铝连接层外围的纳米金刚石颗粒，本发明使用多层复合磨粒抛光前期，可进行快速抛光，抛光中期，金刚石微粒逐渐从氧化铝连接层外围脱落，磨粒直径减小，避免亚表面损伤，抛光后期，脱落的金刚石微粒与二氧化硅‑氧化铝结构颗粒协同作用，对晶圆表面进一步抛光，避免晶圆表面损伤，从而实现晶圆快速无损伤抛光。

本发明授权对晶圆表面抛光的CMP浆料组合物及制备方法在权利要求书中公布了：1.一种对晶圆表面抛光的CMP浆料组合物制备方法，其特征在于，包括以下组分：溶剂；基于溶剂质量，多层复合磨粒0.5-20w%；基于溶剂质量，分散剂0.01-5w%，其中：所述溶剂pH为6-8，所述溶剂为去离子水或醋酸、醋酸钠、乳酸、乙醇酸中的至少一种水溶液；所述多层复合磨粒包括纳米二氧化硅内核，氧化铝连接层，以及分布在氧化铝连接层外围的纳米金刚石颗粒；所述分散剂为聚丙烯酸钠、聚丙烯醇、聚乙二醇一种或多种； 包括以下步骤： 1制备多层复合磨粒；所述多层复合磨粒的制备步骤包括： ①配置铝盐溶液，向铝盐溶液内加入硅溶胶和碱性沉淀剂形成反应液，并将反应液转移至反应釜中密封，200℃水热反应3h，得固液混合物,所述硅溶胶中溶胶粒子粒径分布范围为30-100nm； 其中铝盐浓度为0.5-1molL，铝：硅：碱性沉淀剂摩尔比为1:5-10:3-5； ②将步骤①中固液混合物进行过滤，洗涤，烘干得到二氧化硅内核，外部包裹松散氧化铝的中间产物A； ③取固定形状的反应容器，在底部填充纳米金刚石粉末，并将中间产物A平铺在纳米金刚石粉末上层后，再次填充纳米金刚石粉末，将中间产物覆盖，随后800-1000℃煅烧2小时，随炉冷却至室温，通过旋风分离器，将纳米金刚石粉末分离，得到多层复合磨粒，所述纳米金刚石粉末D50为5-15nm，所述纳米金刚石粉末与中间产物A质量比为5-20:1； 2将溶剂投入反应器内，将多层复合磨粒与分散剂同时投入溶剂内，500-800rmin搅拌混合20min，得到CMP浆料组合物； 其中在20℃的情况下所述CMP浆料组合物粘度18cps，密度1.03-1.15gcm3。

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