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浙江美晶新材料股份有限公司宁志新获国家专利权

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龙图腾网获悉浙江美晶新材料股份有限公司申请的专利一种石英坩埚及其制备方法与应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120309155B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510796602.0,技术领域涉及:C03B20/00;该发明授权一种石英坩埚及其制备方法与应用是由宁志新;邓红;王杨柳;左伟仙;陶飞;王洋洋;陈超;周勇;吴伟华设计研发完成,并于2025-06-16向国家知识产权局提交的专利申请。

一种石英坩埚及其制备方法与应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种石英坩埚及其制备方法与应用,属于石英坩埚技术领域。该石英坩埚的制备包括以下步骤:按由外至内的顺序将气泡层石英砂和透明层石英砂于旋转模具中铺设成型;排除旋转模具内的空气以及石英砂间隙中的空气;于抽真空以及起弧条件下,将封皮层石英砂通过散布法导入旋转模具内以使封皮层石英砂熔融并沉积于透明层石英砂的表面,随后降温,得到位于透明层内表面的封皮层;随后将透明层石英砂熔融以形成透明层;再将气泡层石英砂熔融以形成气泡层。通过在透明层的内壁制备封皮层,能够避免拉晶过程中坩埚本身气泡破裂所引入的杂质,进而可避免单晶硅整棒率降低、出现针孔以及断线等问题。

本发明授权一种石英坩埚及其制备方法与应用在权利要求书中公布了:1.一种石英坩埚的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:按由外至内的顺序将气泡层石英砂和透明层石英砂于旋转模具中铺设成型;排除所述旋转模具内的空气以及石英砂间隙中的空气;于抽真空以及起弧条件下,将封皮层石英砂通过散布法导入所述旋转模具内以使所述封皮层石英砂熔融并沉积于所述透明层石英砂的表面,随后降温,得到位于透明层内表面的封皮层;随后将所述透明层石英砂熔融以形成透明层;再将所述气泡层石英砂熔融以形成气泡层; 散布法包括:将所述封皮层石英砂通过导入装置导入所述旋转模具内,所述导入装置的出料口距离所述旋转模具的上端口的垂直距离为45mm~55mm;所述导入装置的出料口距离所述透明层的水平距离为100mm~150mm;所述旋转模具的转速为65rpm~70rpm; 制备所述封皮层的条件包括:真空条件为-0.20MPa~-0.3MPa,起弧功率为10Kw~15Kw,电弧作用时间为2min~3min,电极间距为20mm~25mm,电极的起弧端部与所述旋转模具的上端口的垂直距离为150mm~200mm; 降温过程的条件包括:真空条件为-0.20MPa~-0.4MPa,电弧功率为5Kw~10Kw,电弧作用时间为2min~3min,电极间距为10mm~15mm,电极的电弧端部与所述旋转模具的上端口的垂直距离为150mm~200mm; 所述封皮层的厚度为0.3mm~0.8mm;所述封皮层中的气泡数不超过1个17mm2; 所述封皮层石英砂与所述透明层石英砂的纯度和粒径均相等。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人浙江美晶新材料股份有限公司,其通讯地址为:312300 浙江省绍兴市上虞区盖北镇杭州湾上虞经济技术开发区东二区舜园路16号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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