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龙图腾网获悉汉轩微电子制造(江苏)有限公司申请的专利基于清洗装置的晶圆清洗装置及该清洗工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120341144B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510803336.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基于清洗装置的晶圆清洗装置及该清洗工艺是由朱焱均;陈煜;王尧林;燕强设计研发完成，并于2025-06-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于清洗装置的晶圆清洗装置及该清洗工艺在说明书摘要公布了：本发明公开了基于清洗装置的晶圆清洗装置及该清洗工艺，涉及半导体技术领域，包括清洗釜、环绕其外壁的气流带、支撑气管、连接气管及内置的防冲击桶，其中防冲击桶设有多角度晶圆清洗组件和网格化通风槽。清洗时，双向偏转30°的摆动喷淋管与固定喷淋管协同工作，在反冲力驱动下环形盘水平旋转并联动锥齿轮组实现喷淋轴向自转，形成动态涡流层使冲击压力衰减70%；干燥时加热氮气经通风槽分割为层流，流速降至0.5ms以下。本发明通过入射角优化、脉冲射流离散及导流栅预缓冲机制，实现晶圆360°无死角清洗，表面微划痕率≤0.005cm²，干燥均匀性偏差≤1.2μm，同时能耗降低30%。

本发明授权基于清洗装置的晶圆清洗装置及该清洗工艺在权利要求书中公布了：1.基于清洗装置的晶圆清洗装置，其特征在于， 包括：清洗釜1，环绕清洗釜1外壁设有若干组气流带2，相邻气流带2之间通过支撑气管3进行连接，两组支撑气管3之间通过连接气管4进行连接，且连接气管4上设有入气口5，清洗釜1内安装有防冲击桶7，且防冲击桶7内设有多角度晶圆清洗组件8； 多角度晶圆清洗组件8包括：环形盘14，环形盘14通过防护套管15安装于清洗釜1内壁底部，且防护套管15顶部贯穿至环形盘14内并与环形盘14转动连接，环形盘14顶部中心固定设有防护罩16，环绕防护罩16外壁设有两组摆动喷淋管17以及两组固定喷淋管19； 每组摆动喷淋管17上均匀设有若干组摆动喷淋头18，且其中一组摆动喷淋管17上的摆动喷淋头18顺时针偏转30°，另一组摆动喷淋管17上的摆动喷淋头18逆时针偏转30°，固定喷淋管19上均匀设有若干组固定喷淋头20，且固定喷淋头20与固定喷淋管19垂直设置； 环形盘14内为中空结构，且驱动导向件21活动安装于环形盘14内并活动套接于防护套管15外壁，防护套管15内安装有连通管24，且连通管24底部与清洁液箱6连通，摆动喷淋管17一端活动贯穿至防护罩16内并与连通管24外壁进行连通，摆动喷淋管17另一端与环形盘14内环壁转动连接，固定喷淋管19一端固定贯穿至防护罩16内并与连通管24外壁进行连通，固定喷淋管19另一端与环形盘14内环壁固定连接； 驱动齿轮22和锥齿轮二25转动套接于连通管24外壁，且驱动齿轮22顶部与锥齿轮二25底部固定连接，驱动导向件21内对称活动设有两组导向齿块27，导向齿块27一端通过连接弹簧28与驱动导向件21内壁进行连接，导向齿块27另一端固定设有驱动齿条26，两组驱动齿条26前后对称设于驱动导向件21内，且两组驱动齿条26均与驱动齿轮22相啮合； 摆动喷淋管17延伸至防护罩16内的一端外壁固定套接有锥齿轮一23，且锥齿轮一23与锥齿轮二25相啮合，且摆动喷淋管17与连通管24转动连接。

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