湘潭大学朱颖方获国家专利权
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龙图腾网获悉湘潭大学申请的专利一种柔性氧化铪基铁电忆容器集成阵列及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120379280B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510867820.9,技术领域涉及:H10D1/68;该发明授权一种柔性氧化铪基铁电忆容器集成阵列及其制备方法是由朱颖方;蒋勤;燕少安;李芊润设计研发完成,并于2025-06-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种柔性氧化铪基铁电忆容器集成阵列及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种柔性氧化铪基铁电忆容器集成阵列及其制备方法,柔性氧化铪基铁电忆容器集成阵列包括自上而下依次设置的图形化的顶电极、图形化的铁电层、图形化的底电极、柔性云母衬底;所述铁电层采用掺杂锆的氧化铪铁电薄膜;所述底电极和顶电极均为采用电子束蒸发制备的金属钨。本发明将铁电忆容器集成在柔性云母衬底上,使得铁电忆容器能够承受弯曲、拉伸等形变并且在不同弯曲情况下仍具有良好的铁电性能和忆容特性,适应于柔性电子应用。
本发明授权一种柔性氧化铪基铁电忆容器集成阵列及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种柔性氧化铪基铁电忆容器集成阵列,其特征在于:包括自上而下依次设置的图形化的顶电极、图形化的铁电层、图形化的底电极、柔性云母衬底;所述铁电层采用掺杂锆的氧化铪铁电薄膜;所述底电极和顶电极均为采用电子束蒸发制备的金属钨; 柔性氧化铪基铁电忆容器集成阵列是规格为32×32的交叉阵列,交叉阵列的整体大小为1mm×1mm,导通测试电压的金属块电极的面积为0.09mm2,中间的金属线宽为6μm,铁电层的大小为70μm×70μm。
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