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龙图腾网获悉浙江晟霖益嘉科技有限公司申请的专利一种蒸镀设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120384260B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510873328.2，技术领域涉及：C23C14/24；该发明授权一种蒸镀设备是由叶文杰;吴宾宾;李仁龙;闻益;鲁玉泉;徐钧设计研发完成，并于2025-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种蒸镀设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种蒸镀设备，包括工艺腔室和多个蒸发组件，蒸发组件包括固定座、柔性连接管、活动座和蒸发源，固定座与工艺腔室固定连接，固定座具有与工艺腔室内部连通的第一连通孔，活动座具有第二连通孔，第二连通孔的第一端与蒸发源连接，第二连通孔的第二端通过柔性连接管与第一连通孔连通，还包括多个调节结构，多个调节结构分布于柔性连接管的外侧，调节结构的第一连接端和第二连接端分别与活动座与固定座连接，调节结构能响应伸缩调节信号调节第一连接端与第二连接端之间的距离，改变蒸发源与固定座之间的距离及角度。本发明提供的蒸镀设备可通过调节结构自动调节蒸发源与基座之间的距离及角度，提高蒸发组件的灵活性及便捷性。

本发明授权一种蒸镀设备在权利要求书中公布了：1.一种蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备包括工艺腔室、基座、控制装置和多个蒸发组件，所述基座设置于所述工艺腔室中，所述工艺腔室的外壁上具有多个蒸发通孔，所述蒸发组件包括固定座100、柔性连接管200、活动座300和蒸发源400，所述固定座100用于与工艺腔室固定连接，且所述固定座100具有用于与工艺腔室内部连通的第一连通孔，多个所述固定座100的第一连通孔分别与多个所述蒸发通孔连通，所述活动座300具有第二连通孔，所述第二连通孔的第一端与所述蒸发源400连接，所述第二连通孔的第二端通过所述柔性连接管200与所述第一连通孔连通，所述蒸发组件还包括多个调节结构500，多个所述调节结构500分布于所述柔性连接管200的外侧，且所述调节结构500的第一连接端和第二连接端分别与所述活动座300与所述固定座100连接，所述控制装置用于向多个所述蒸发组件的调节结构500发送伸缩调节信号，以使每个所述调节结构500能够响应于伸缩调节信号调节其第一连接端与第二连接端之间的距离，以改变所述蒸发源400与所述固定座100之间的距离及角度； 所述蒸发组件还包括多个定位结构600，所述定位结构600包括刻度杆610和导向座620，所述导向座620固定设置在所述活动座300上，且所述导向座620中具有避让通孔，所述刻度杆610的一端与所述固定座100固定连接，所述刻度杆610的另一端穿过所述避让通孔，所述刻度杆610的表面上具有沿所述刻度杆610的长度方向间隔分布的刻度结构611，多个所述定位结构600的位置与多个所述调节结构500的位置一一对应。

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