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龙图腾网获悉龙南鼎泰电子科技有限公司申请的专利基于声表面波谐振的PCB覆铜层厚度在线监测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120426919B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510729970.3，技术领域涉及：G01B17/02；该发明授权基于声表面波谐振的PCB覆铜层厚度在线监测方法是由闫红生;张美良;张红波;王胜强设计研发完成，并于2025-06-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于声表面波谐振的PCB覆铜层厚度在线监测方法在说明书摘要公布了：本发明提供基于声表面波谐振的PCB覆铜层厚度在线监测方法，涉及电子制造技术领域，包括：步骤1：声表面波谐振器的设计与制备：在声表面波谐振器的压电衬底表面制备阶梯型叉指电极结构或者非对称叉指电极阵列，所述叉指电极的几何参数根据目标覆铜层厚度范围和声表面波传播特性进行优化设计，通过调整叉指电极的宽度、间距及对数，使得声表面波谐振器的工作频段覆盖覆铜层厚度变化引起的声表面波频移范围；步骤2：传感器安装与信号耦合；步骤3：谐振频移解析与厚度映射；步骤4：在线反馈与工艺调控。通过精确设计与优化的声表面波谐振器，以及高效的信号处理算法，能够在复杂环境下提供准确的PCB覆铜层厚度监测。

本发明授权基于声表面波谐振的PCB覆铜层厚度在线监测方法在权利要求书中公布了：1.基于声表面波谐振的PCB覆铜层厚度在线监测方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤1：声表面波谐振器的设计与制备： 在声表面波谐振器的压电衬底表面制备阶梯型叉指电极结构或者非对称叉指电极阵列，所述叉指电极的几何参数根据目标覆铜层厚度范围和声表面波传播特性进行优化设计，通过调整叉指电极的宽度、间距及对数，使得声表面波谐振器的工作频段覆盖覆铜层厚度变化引起的声表面波频移范围； 步骤1还包括：在传感器内部布置分布式微型热电偶阵列，采样间隔根据热传导特性确定，通过空间插值算法重建二维温度场； 基于热力学瞬态仿真建立温度-频移关系的多维补偿映射表，热力学瞬态仿真定义压电材料各向异性热导率和对流边界条件，计算温度梯度引起的声波相速度变化量； 所述相速度变化量与温度场的空间导数成比例关系，补偿映射表的维度根据温度传感器数量及精度需求确定； 步骤2：传感器安装与信号耦合： 将声表面波谐振器通过耐高温粘接材料固定于PCB板的非功能区，利用非接触式间距校准装置调节传感器与覆铜层之间的间隙，使声表面波的机械振动能量有效耦合至覆铜层表面，同时避免物理接触对PCB表面的损伤； 步骤3：谐振频移解析与厚度映射： 采集传感器反射信号的幅频特性，采用频谱分析算法提取谐振频率点的偏移量，结合预先建立的频移-厚度映射模型，将频移量转换为覆铜层厚度值； 步骤3还包括：所述频移-厚度映射模型通过有限元仿真和实验标定联合构建，有限元仿真中包含PCB基材、覆铜层、粘接层及传感器的材料属性、几何结构及边界条件，并通过实验数据修正仿真误差，确保频移-厚度映射模型在复杂工况下的精度； 所述频移-厚度映射模型的误差补偿方法包括： 对有限元仿真与实验标定的差异数据进行频域分解，识别材料各向异性和界面缺陷引起的系统性误差分量； 通过卷积神经网络分析有限元仿真数据与实验标定数据之间的差异规律，预测并补偿由环境变量及材料批次因素引起的测量误差，所述网络输入包含仿真参数、环境变量及材料批次信息，输出为频移量修正值； 实验标定中采用标准厚度样板同步对比测量； 步骤4：在线反馈与工艺调控： 根据实时厚度测量结果与设定目标值的偏差，采用闭环控制算法动态调整电镀工艺参数，所述闭环控制算法基于厚度偏差的历史变化趋势和实时速率进行多变量优化，以抑制工艺波动并维持覆铜层厚度的稳定性； 步骤4中所述闭环控制算法通过多变量回归确定工艺参数权重，具体包括： 将电镀液离子浓度和流量脉动作为前馈变量构建厚度偏差预测模型，动态调整自适应PID控制器的增益参数； 在控制回路中嵌入死区补偿模块，当厚度偏差处于工艺公差带内时降低控制灵敏度，所述公差带范围根据生产线历史稳定性数据动态更新； 所述PID控制器的输出优先级根据参数贡献权重分配，权重值通过电镀槽内多组正交实验的回归分析获得。

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