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龙图腾网获悉上海铠铂云信息科技有限公司申请的专利一种用于半导体生产的设备端晶圆缓存系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120432408B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510577432.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种用于半导体生产的设备端晶圆缓存系统是由王善谦;简嘉辉设计研发完成，并于2025-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于半导体生产的设备端晶圆缓存系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于半导体生产的设备端晶圆缓存系统，具体涉及半导体制造设备领域，包括任务初始化模块、智能调度模块、圆盒运输模块、缓存调度模块、异常处理模块以及任务反馈模块；任务初始化模块：生产管理系统MES根据生产计划生成晶圆盒搬运任务；智能调度模块：核心调度控制单元基于所述搬运任务生成最优搬运策略；本发明通过智能调度系统MCS本系统实时监测晶圆盒的状态、位置以及生产线的需求，会选择最优的晶圆盒搬运路径和存储策略，下发搬运任务，确保晶圆盒在缓存槽、STK存储区、SMIF设备及OHS空中穿梭车之间的高效流转，减少等待时间和无效搬运，提升整体生产效率。

本发明授权一种用于半导体生产的设备端晶圆缓存系统在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体生产的设备端晶圆缓存系统，其特征在于，包括NTB机械结构、移载机构、晶圆存储库以及调度控制单元，具体包括： 所述NTB机械结构具体包含长条形轨道主体、内置缓存槽、可调速升降机构、与OHS无缝对接的自动出入口以及集成传感器的机械臂；所述长条形轨道主体具备平滑运动路径和精准导向功能；所述内置缓存槽用于晶圆存储；所述可调速升降机构用于实现晶圆盒垂直方向快速定位；所述OHS是一种空中走行式穿梭车，能够在空中高架轨道上行驶，用于在指定的保管设备之间搬送载体从而带动载体进行搬送，并与NTB设备和STK设备之间进行无缝衔接；所述集成传感器的机械臂用于检测晶圆盒状态、库位存在以及载盘位置，并将信号传输至调度控制单元，完成晶圆盒在缓存槽与设备端口间的精准抓取与搬运；所述移载机构由机械臂和升降机构组成；所述调度控制单元通过算法生成存取指令，协调移载机构与智能传送机台的运作，实现与OHS的无缝衔接及晶圆存取、传输的全流程自动化； 所述STK是晶圆缓存系统的重要组成部分，能够存储大量的晶圆盒，且配有自动出入口，能与OHS实现无缝对接，将晶圆盒快速传输到指定位置，随后，搬运指令会到达NTB自动出入口与OHS进行无缝衔接，OHS将晶圆盒搬运至NTB后，NTB的天轨、升降机构、机械臂开始执行工作，将晶圆盒精准地放置到SMIF上，继续执行搬运任务；所述SMIF在每台NTB设备下面都存放4—6台作为暂存区，SMIF暂存区提供封闭环境，且NTB设备与下方的SMIF暂存区实现无缝对接，用于快速存取； 任务初始化模块：生产管理系统MES根据生产计划生成晶圆盒搬运任务； 智能调度模块：核心调度控制单元基于所述搬运任务生成最优搬运策略； 所述最优搬运策略基于硬件状态、系统的负载情况及晶圆存取需求，生成并优化存取指令发送至NTB，系统在接收到指令后实现最优配置与任务高效执行，会实时记录晶圆存取的历史数据，包括存取时间，位置信息，以及设备运行状态，该系统下发的搬运任务会经过STK、OHS、NTB、SMIF跨设备运行STK有自动出入口与OHS完成无缝衔接，接到货物后，搬运指令会到达NTB自动出入口与OHS进行无缝衔接，OHS到达指定位置后，NTB接收到指令，天轨、升降机构、机械臂开始执行工作，最终到达SMIF暂存区，根据生产需求自动调度晶圆盒；若有异常情况，则具备异常检测处理功能，根据场景做出相应处理，系统会对搬运指令做校验，能够自动识别并处理转运过程中的异常情况，同时对重复任务进行处理后继续执行搬运任务； 所述异常情况包括阻塞情况1：当NTB中间缓冲区的容量达到极限或调度系统出现延迟时，OHS无法及时将晶圆盒从STK库存区运送到NTB，导致OHS在入口处排队等待；阻塞情况2：多辆OHS因路径交叉或资源争抢导致排队；阻塞情况3：Process设备未及时反馈状态，导致OHS在NTB出口等待货物释放，引发后续任务积压；所述异常检测处理功能包括针对所述阻塞情况1时，实时监控NTB状态，当NTB容量阈值达到80%时，触发预警并自动将低优先级货物暂存至备用弹性缓冲区，根据NTB实时容量动态调整OHS任务下发频率，避免集中拥堵导致天车在入口排队；针对所述阻塞情况2时，当OHS-A到达平移机构时，将晶圆盒暂存至NTB缓存槽，并释放轨道锁，允许OHS-B进入；同时NTB将OHS-B货物搬运至Process，MCS通过优先级队列管理任务顺序，高优先级任务可抢占锁资源；针对所述阻塞情况3时，实时采集设备状态并通过通讯协议推送至MCS，触发NTB货物释放指令的存取操作； 圆盒运输模块：基于所述最优搬运策略STK按指令取出晶圆盒交予OHS，OHS经高架轨道运至NTB自动出入口，NTB移载机构接收晶圆盒； 缓存调度模块：MCS根据Process设备需求，向NTB下达存取指令，NTB机械臂从缓存槽抓取晶圆盒，通过天轨与升降机构配合，将其送至SMIF暂存区或直接对接Process设备； 异常处理模块：系统集成了先进的报警功能全程监测设备状态； 任务反馈模块：晶圆盒送达目的地后，设备向NTB反馈，NTB经MCS将信息同步至MES，MES更新晶圆状态；系统记录任务数据，用于优化调度与设备维护，完成任务闭环。

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