浙江奥首材料科技有限公司褚雨露获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江奥首材料科技有限公司申请的专利一种涂布工艺通用型等离子体切割保护液、其制备方法及应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120442138B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510947141.2,技术领域涉及:C09D167/06;该发明授权一种涂布工艺通用型等离子体切割保护液、其制备方法及应用是由褚雨露;侯军;李永胜;张楠设计研发完成,并于2025-07-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种涂布工艺通用型等离子体切割保护液、其制备方法及应用在说明书摘要公布了:本发明提供一种涂布工艺通用型等离子体切割保护液、其制备方法及应用,所述涂布工艺通用型等离子体切割保护液包括重量配比如下的各组分:超支化聚酯5‑20份;芳香族羰基化合物1‑3份;有机溶剂20‑30份;成膜助剂2‑4份;超纯水30‑50份,所述超支化聚酯为端羧基超支化聚酯。本发明还公开了所述涂布工艺通用型等离子体切割保护液的制备方法及应用。本发明涂布工艺通用型等离子体切割保护液可同时适用于旋涂工艺和超声喷涂工艺,均可获得均匀致密的保护膜层,对晶圆及表面BUMP、沟槽等结构实现保护。
本发明授权一种涂布工艺通用型等离子体切割保护液、其制备方法及应用在权利要求书中公布了:1.一种涂布工艺通用型等离子体切割保护液,其特征在于,包括重量配比如下的各组分: 超支化聚酯5-20份; 芳香族羰基化合物1-3份; 有机溶剂20-30份; 成膜助剂2-4份; 超纯水30-50份; 所述超支化聚酯为端羧基超支化聚酯; 所述超支化聚酯采用如下方法制备而成: S1:在氮气气氛下,将有机酸酐和多元醇混合,于110-115°C反应1-1.5小时,得到化合物A;所述有机酸酐和多元醇的摩尔比为1:1-2:1; S2:在氮气气氛下,将多元醇聚合物和化合物A混合,加入催化剂,升温至175-185℃,反应8-10h;冷却至室温,加入有机多元酸和聚合抑制剂,再升温至170-180°C,反应0.5-1h;最后冷却至室温,制备得到超支化聚酯。
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