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龙图腾网获悉华通芯电(南昌)电子科技有限公司申请的专利一种静电吸盘及静电吸盘控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120473429B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510940337.9，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权一种静电吸盘及静电吸盘控制方法是由刘坤明;侯汉成;宋嘉铭;茆同海设计研发完成，并于2025-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种静电吸盘及静电吸盘控制方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体技术领域，提供一种静电吸盘及静电吸盘控制方法，静电吸盘包括包括吸盘主体及介电层，吸盘主体连接介电层，吸盘主体的一端设置第一区域、第二区域、第三区域及第四区域，第二区域环绕第一区域的外侧缘，第三区域环绕第二区域的外侧缘，第四区域环绕第三区域的外侧缘，第一区域内设置第一电极单元组，第二区域内设置第二电极单元组，第三区域内设置第三电极单元组，第四区域内设置第四电极单元组，吸盘主体内设置感测器阵列。通过采用上述结构，可有益于针对不同尺寸晶圆产生不同的电场，针对不同尺寸晶圆产生大小适配的静电力。

本发明授权一种静电吸盘及静电吸盘控制方法在权利要求书中公布了：1.一种静电吸盘，其特征在于，包括吸盘主体及介电层，所述吸盘主体的一面连接所述介电层，所述吸盘主体朝向所述介电层的一端设置第一区域、第二区域、第三区域及第四区域，所述第二区域环绕所述第一区域的外侧缘设置，所述第三区域环绕所述第二区域的外侧缘设置，所述第四区域环绕所述第三区域的外侧缘设置，所述第一区域内设置第一电极单元组，所述第二区域内设置第二电极单元组，所述第三区域内设置第三电极单元组，所述第四区域内设置第四电极单元组，所述第一电极单元组、所述第二电极单元组、所述第三电极单元组及所述第四电极单元组均电性连接电源及强制放电开关，所述吸盘主体背向所述介电层的一端内设置感测器阵列，所述感测器阵列用于监测所述介电层上的电场是否均匀，所述第一电极单元组包括第一正电极单元及第一负电极单元，所述第二电极单元组包括第二正电极单元及第二负电极单元，所述第三电极单元组包括两个第三正电极单元及两个第三负电极单元，所述第四电极单元组包括三个第四正电极单元及三个第四负电极单元，所述感测器阵列包括第一感测器组、第二感测器组、第三感测器组及第四感测器组，所述第一感测器组与所述第一区域位置对应，所述第一感测器组包括两个第一感测器，所述第二感测器组与所述第二区域位置对应，所述第二感测器组包括两个第二感测器，所述第三感测器组与所述第三区域位置对应，所述第三感测器组包括四个第三感测器，所述第四感测器组与所述第四区域位置对应，所述第四感测器组包括六个第四感测器，所述第三感测器于所述第三区域内的投影位于相邻的两个所述第三正电极单元之间、相邻的两个所述第三负电极单元之间或相邻的所述第三正电极单元及所述第三负电极单元之间，所述第四感测器于所述第四区域内的投影位于相邻的两个所述第四正电极单元之间、相邻的两个所述第四负电极单元之间或相邻的所述第四正电极单元及所述第四负电极单元之间。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华通芯电(南昌)电子科技有限公司，其通讯地址为：330000 江西省南昌市南昌县小蓝经济技术开发区小蓝中大道389号尚荣城产业园8栋6楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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