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龙图腾网获悉北京大学长三角光电科学研究院申请的专利一种锑化物半导体缺陷原位无损检测装置和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120507290B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510999224.6，技术领域涉及：G01N21/01；该发明授权一种锑化物半导体缺陷原位无损检测装置和方法是由龚京睿;张泽霖;陈飞;施可彬;贺心雨设计研发完成，并于2025-07-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种锑化物半导体缺陷原位无损检测装置和方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种锑化物半导体缺陷原位无损检测装置和方法，装置包括：光源组件用于出射扫描光束并调整扫描光束的出射位置；物镜调焦组件用于接收、传输且聚焦扫描光束正入射至样品，还用于传输样品对扫描光束的反射光束；二向色镜位于光源组件与物镜调焦组件之间，用于透过扫描光束还用于反射该反射光束；成像组件，用于接收反射光束并基于反射光束中的三次谐波信号对样品进行成像，成像组件随着光源组件调整扫描光束的出射位置的不同能够形成样品的二维图像，并结合物镜调焦组件调整扫描光束的聚焦深度，能够形成样品的三维图像。能够对样品进行原位无损检测。

本发明授权一种锑化物半导体缺陷原位无损检测装置和方法在权利要求书中公布了：1.一种锑化物半导体缺陷原位无损检测装置，其特征在于，包括： 光源组件，用于出射扫描光束并调整所述扫描光束的出射位置；其中，所述扫描光束的光学参数满足：在照射至样品时，能够使得所述样品的无缺陷部分产生三次谐波信号； 物镜调焦组件，用于接收、传输且聚焦所述扫描光束正入射至样品，还用于传输所述样品对所述扫描光束的反射光束； 二向色镜，位于所述光源组件与所述物镜调焦组件之间，用于透过所述扫描光束，还用于反射所述反射光束； 成像组件，用于接收所述反射光束，并基于所述反射光束中的三次谐波信号对所述样品进行成像，所述成像组件随着所述光源组件调整所述扫描光束的出射位置的不同能够形成样品的二维图像，并结合所述物镜调焦组件调整所述扫描光束的聚焦深度，能够形成所述样品的三维图像； 所述扫描光束的光强与所述样品产生的三次谐波光强之间满足： ；其中，，为介质中三次谐波折射率，为锑化物在基频光激发下产生的非基频光的中心频率，为非线性极化阶次，为光速，，，为波矢，为光在锑化物里传播的距离，为三阶非线性极化率。

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