德沪涂膜设备(苏州)有限公司;苏州材装半导体设备有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉德沪涂膜设备(苏州)有限公司;苏州材装半导体设备有限公司申请的专利一种充气干燥方法以及制膜设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120515663B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511036736.9,技术领域涉及:B05D3/04;该发明授权一种充气干燥方法以及制膜设备是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2025-07-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种充气干燥方法以及制膜设备在说明书摘要公布了:本发明公开了一种充气干燥方法以及制膜设备,适用于膜制备的抽气阶段。其中,充气干燥方法包括:将涂覆了涂布溶液的基板置于真空腔室;对真空腔室抽真空处理,并在涂布溶液中溶质成核的LaMer曲线第一阶段向真空腔室充入惰性气体,使真空腔室的压力为目标压力,所述目标压力低于所述涂布溶液中溶剂的有效蒸汽压。本发明提供的充气干燥方法以及制膜设备,既能够解决高真空阶段因压力梯度消失导致的蒸汽自然对流滞留问题,加速蒸汽排出,又能够加速溶剂挥发速率,避免真空度过高引发液膜沸腾或针孔,减少薄膜裂纹和孔洞,避免溶质浓度骤升导致的爆发式成核,提升晶核尺寸均一性。
本发明授权一种充气干燥方法以及制膜设备在权利要求书中公布了:1.一种充气干燥方法,其特征在于,适用于膜制备的抽气阶段,所述充气干燥方法包括以下步骤: 将涂覆了涂布溶液的基板14置于真空腔室11; 对真空腔室11抽真空处理,并在涂布溶液中溶解度最低的溶质成核的LaMer曲线第一阶段向真空腔室11充入惰性气体,确保充气过程避开LaMer曲线第二阶段;使真空腔室11的压力为目标压力,所述目标压力满足下式: ; 式中,为目标压力,为有效蒸汽压,k为动态调整系数,k的大小根据涂布溶液中溶剂的种类确定,且k的大小为0.70至0.90; 所述充气干燥方法还包括: 通过调整所述惰性气体的注入压力控制所述惰性气体的流速,所述惰性气体的流速根据基板14上涂布溶液液面面积、有效蒸汽压以及钙钛矿前驱体液体中溶剂的效摩尔质量确定; 所述惰性气体的流速小于等于12ms,所述惰性气体的注入压力为0.1MPa至0.4MPa。
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