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龙图腾网获悉北京日扬弘创智能装备有限公司申请的专利一种晶圆超声波清洗方法、清洗装置及自动化系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120527223B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511023472.3，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权一种晶圆超声波清洗方法、清洗装置及自动化系统是由关仁杰;葛成重;张永涛;杨朔;赵海荣;王宏声设计研发完成，并于2025-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆超声波清洗方法、清洗装置及自动化系统在说明书摘要公布了：本发明公开一种晶圆超声波清洗方法、清洗装置及自动化系统，涉及半导体制造技术领域，方法包括以下步骤：1.在清洗流体流道中生成垂直层流的中温液态水环境；2.通过激光扫描液态水形成立体空化区，生成空化气泡流；3.动态调节激光能量密度分布曲线，控制空化气泡的大小及密度；4.基于清洗阶段定制气泡溃灭能量曲线，分阶段去除不同粒径污染物；5.通过层流溢流排出污染物。清洗装置用于实现上述方法，自动化系统包括上述清洗装置。本发明通过中温层流环境为空化效应创造理想热力学条件；通过激光空化动态调控在单次扫描中生成多尺度混合气泡群，使大气泡的宏观剥离与小气泡的微观清除高效协同；通过溢流定向排污，阻断污染物再吸附路径。

本发明授权一种晶圆超声波清洗方法、清洗装置及自动化系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆超声波清洗方法，其特征在于，包括以下步骤： S1.在清洗流体流道中生成垂直层流的中温液态水环境，中温液态水的温度范围为50℃-70℃； S2.通过激光扫描液态水内部形成立体空化区，控制空化气泡流的生成； S3.动态调节激光能量密度分布曲线，控制空化气泡的大小及密度； 具体为：通过控制激光扫描路径的疏密度及错层分布，调节气泡密度；通过调节焦点能量比例控制气泡大小； 通过编程调节扫描路径间距控制单位体积激光能量密度，进而精确操控气泡生成密度；同步采用跳变能量波形，在10%-100%范围内动态调节焦点能量比例，使单个气泡直径在5-200μm间连续可调； S4.基于清洗阶段定制气泡溃灭能量曲线，分阶段去除不同粒径污染物； 其中，清洗过程分三阶段执行定向污染物清除： 初始阶段配置100-200μm大气泡占主导的混合群，针对性剥离10-20μm的大颗粒； 中期阶段过渡至20-100μm气泡混合体系，清除2-10μm附着微粒； 后期阶段则切换为高密度5-20μm小气泡群，清除纳米级残留； S5.通过层流溢流排出污染物。

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