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龙图腾网获悉上海芯源微企业发展有限公司申请的专利分流排风装置及基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120545225B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511036963.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权分流排风装置及基板处理装置是由刘涛;彭博;叶宇;王荣祥;李爽;肖静;赵琦设计研发完成，并于2025-07-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本分流排风装置及基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种分流排风装置及基板处理装置，分流排风装置包括主管道和分流管道，主管道用于与处理腔室连接，分流管道与主管道连接，分流管道至少包括第一分流管道和第二分流管道，第一分流管道和第二分流管道均与主管道可拆卸密封连接，第一分流管道和或第二分流管道包括多个分支管道，第一分流管道和或第二分流管道的分支管道上均设置有排气切换结构，排气切换结构用于导通或者封堵第一分流管道和或第二分流管道的分支管道。该分流排风装置的第一分流管道和或第二分流管道包括多个分支管道，减少了分流管道与主管道的对接点，实现了基板处理装置的分流排风结构的小型集成化，节省了安装空间。

本发明授权分流排风装置及基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种分流排风装置，其特征在于： 包括主管道和分流管道，所述主管道用于与处理腔室连接，所述分流管道与所述主管道连接，所述分流管道至少包括第一分流管道和第二分流管道，所述第一分流管道和所述第二分流管道均与所述主管道可拆卸密封连接，所述第一分流管道和或所述第二分流管道包括多个分支管道，同一分流管道中的多个所述分支管道通过同一对接口与所述主管道对接，所述第一分流管道和或所述第二分流管道的所述分支管道上均设置有排气切换结构，所述排气切换结构用于导通或者封堵所述第一分流管道和或所述第二分流管道的所述分支管道； 所述排气切换结构包括驱动结构以及挡板，所述驱动结构用于驱动所述挡板导通或者封堵所述第一分流管道和或所述第二分流管道的所述分支管道； 所述分流排风装置还包括分别与所述第一分流管道和或所述第二分流管道的所述分支管道连接的排气盒，所述挡板与所述排气盒之间的管路上均设置有气压调节口；所述挡板封堵所述第一分流管道和或所述第二分流管道的所述分支管道时，所述挡板打开所述气压调节口，所述挡板导通所述第一分流管道和或所述第二分流管道的所述分支管道时，所述挡板封堵所述气压调节口。

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