买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉北京日扬弘创智能装备有限公司申请的专利一种晶圆清洗装置及包含其的晶圆磨抛清洗自动化系统和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120581484B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511023479.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆清洗装置及包含其的晶圆磨抛清洗自动化系统和方法是由葛成重;关仁杰;郭占旗;王宏声;刘彦良;张永涛;赵海荣设计研发完成，并于2025-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆清洗装置及包含其的晶圆磨抛清洗自动化系统和方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种晶圆清洗装置及包含其的晶圆磨抛清洗自动化系统和方法，涉及半导体制造技术领域，包括：清洗腔室、清洗组件、甩干组件、流体屏蔽导流罩和洁净送风单元，流体屏蔽导流罩可在旋涂位与甩干位之间切换，旋涂位让开清洗腔室入口，甩干位封堵清洗腔室入口；洁净送风单元用于向流体屏蔽导流罩输送屏蔽流体；流体屏蔽导流罩包括倒锥台结构的外导流环和正锥台结构且底面封闭的内导流环，外导流环和内导流环之间形成狭缝流体加速环，外导流环和内导流环底部具有间隙，形成狭缝流体射流环，用于形成加速射流屏蔽环屏蔽化学逃逸。本发明通过设置流体屏蔽导流罩和洁净送风单元，形成了多个气流屏蔽环，有效阻止了化学药剂的逃逸。

本发明授权一种晶圆清洗装置及包含其的晶圆磨抛清洗自动化系统和方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括： 清洗腔室； 清洗组件，用于使用不同化学药剂和洗剂对晶圆进行旋涂清洗； 甩干组件，设置于所述清洗腔室内，用于对清洗后的晶圆进行甩干； 流体屏蔽导流罩701，可升降设置于所述清洗腔室上方，可在旋涂位与甩干位之间切换； 其中，所述旋涂位为所述流体屏蔽导流罩701的上升状态，用于让开所述清洗腔室入口，使得所述清洗组件对晶圆进行旋涂清洗； 所述甩干位为所述流体屏蔽导流罩701的下降状态，用于封堵所述清洗腔室入口，防止甩干过程中废液逃逸； 洁净送风单元702，设置于所述流体屏蔽导流罩701上方，用于向所述流体屏蔽导流罩701输送屏蔽流体； 其中，所述流体屏蔽导流罩701包括互相连接的外导流环7011和内导流环7012，所述外导流环7011为倒锥台结构，用于引导洁净流体在外围形成洁净流体屏蔽环7013，所述内导流环7012为正锥台结构且底面封闭，所述外导流环7011和所述内导流环7012之间形成狭缝流体加速环7014，所述外导流环7011和所述内导流环7012底部具有间隙，形成狭缝流体射流环7015，用于形成加速射流屏蔽环7016屏蔽化学逃逸。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京日扬弘创智能装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区青云店镇青正街8号546室平房(集群注册)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。