中科芯微智能装备(沈阳)有限公司常志勇获国家专利权
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龙图腾网获悉中科芯微智能装备(沈阳)有限公司申请的专利一种紧凑型真空机械手获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120588190B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511106152.4,技术领域涉及:B25J9/04;该发明授权一种紧凑型真空机械手是由常志勇;董宏达;侯双明;谭谆设计研发完成,并于2025-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种紧凑型真空机械手在说明书摘要公布了:本发明公开了一种紧凑型真空机械手,涉及半导体晶圆传递设备领域,包括,动力输出部;扭矩传递组件,包括锁固座和锁紧件,锁固座开设有供动力输出轴穿过的轴孔及自轴孔内缘轴向延伸的薄壁筒体,薄壁筒体上沿圆周方向均匀开设有多个轴向延伸的竖条孔,薄壁筒体的根部沿径向均匀开设有多个横条孔,所述横条孔与所述竖条孔相互连通;当通过收缩动作使所述锁紧件内径减小时,所述锁紧件的内壁径向挤压所述弹性弧形体向中心弹性变形,直至所述弹性弧形体的内壁与所述动力输出轴的外周面形成过盈配合。上述方案有效克服了螺栓数量不足导致的应力集中、刚性弱、易松动等问题,确保了扭矩和弯矩的高效传递,符合高集成度真空机械手的设计需求。
本发明授权一种紧凑型真空机械手在权利要求书中公布了:1.一种紧凑型真空机械手,包括本体1、枢转连接在所述本体1的手臂2以及用于驱动手臂2转动的动力源,其特征在于,所述手臂2沿轴向开设有容纳腔2111,还包括: 动力输出部,位于所述动力源的动力输出轴3的端部; 扭矩传递组件4,位于所述容纳腔2111内,包括锁固座41和锁紧件42,其中: 所述锁固座41开设有供所述动力输出轴3穿过的轴孔及自所述轴孔内缘轴向延伸的薄壁筒体411,所述薄壁筒体411上沿圆周方向均匀开设有多个轴向延伸的竖条孔412,所述竖条孔412将所述薄壁筒体411分割为多个独立间隔分布的弹性弧形体,所述薄壁筒体411的根部沿径向均匀开设有多个横条孔413,所述横条孔413与所述竖条孔412相互连通; 所述锁紧件42为具有可变内径的环状结构,所述锁紧件42套设于多个所述弹性弧形体外侧; 当通过收缩动作使所述锁紧件42内径减小时,所述锁紧件42的内壁径向挤压所述弹性弧形体向中心弹性变形,直至所述弹性弧形体的内壁与所述动力输出轴3的外周面形成过盈配合。
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