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大连理工大学曹暾获国家专利权

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龙图腾网获悉大连理工大学申请的专利一种基于相变材料的平面光波导可调光分路器及动态调节方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120595428B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511106920.6,技术领域涉及:G02B6/125;该发明授权一种基于相变材料的平面光波导可调光分路器及动态调节方法是由曹暾;高仕鑫;贾婧媛;苏莹;廉盟;刘宽;周心炜;李莹晗设计研发完成,并于2025-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。

一种基于相变材料的平面光波导可调光分路器及动态调节方法在说明书摘要公布了:一种基于相变材料的平面光波导可调光分路器及动态调节方法,属于集成光子学与光通信领域,其包括1×2Y型分支结构、马赫‑曾德干涉仪结构、定向耦合器结构,每个光学结构表面添加覆盖层,每个光学结构表面采用相同方法处理:沉积SiO2下包层作为底层结构;SiO2下包层表面沉积脊形的SiO2芯层,沉积SiO2上包层完成三层堆叠;且马赫‑曾德干涉仪结构和定向耦合器结构区域,其SiO2上包层表面依次沉积非晶态Sb2S3相变层及Al2O3保护层;并通过激光选区诱导马赫‑曾德干涉仪结构的右干涉臂及与其连接的定向耦合器结构右臂区域的Sb2S3层相变形成激光诱导晶态Sb2S3功能层。本发明设计的平面光波导可调光分路器具备零静态功耗、动态可重构和工艺兼容性强的优点。

本发明授权一种基于相变材料的平面光波导可调光分路器及动态调节方法在权利要求书中公布了:1.一种基于相变材料的平面光波导可调光分路器,其特征在于,所述平面光波导可调光分路器由三个级联的光学结构构成,包括1×2Y型分支结构1、马赫-曾德干涉仪结构2、定向耦合器结构3,每个光学结构表面添加覆盖层; 所述1×2Y型分支结构1、马赫-曾德干涉仪结构2及定向耦合器结构3的表面采用相同方法处理:通过化学气相沉积形成SiO2下包层作为底层结构;在SiO2下包层表面沉积SiO2芯层材料,经紫外光刻与反应离子刻蚀加工成正方形截面的脊形SiO2芯层;最后覆盖沉积SiO2上包层完成三层堆叠; 且所述马赫-曾德干涉仪结构2和定向耦合器结构3区域,其SiO2上包层表面需依次沉积非晶态Sb2S3相变层及Al2O3保护层;并通过激光选区诱导马赫-曾德干涉仪结构2的右干涉臂及与右干涉臂连接的定向耦合器结构3右臂区域的非晶态Sb2S3相变层进行相变,实现非晶态至晶态的局部转换,形成激光诱导晶态Sb2S3相变层。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人大连理工大学,其通讯地址为:116024 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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