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龙图腾网获悉无锡亘芯悦科技有限公司申请的专利一种晶圆传输系统及半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120600677B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511106145.4，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种晶圆传输系统及半导体设备是由陈艳威;黄俊芃设计研发完成，并于2025-08-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆传输系统及半导体设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆传输系统及半导体设备，该晶圆传输系统包括：真空工艺腔，其内部设置有传输机构，传输机构包括移动单元、顶升单元和旋转单元，旋转单元连接有第一机械手和第二机械手；旋转单元用于驱动第一机械手、第二机械手做同轴反向旋转运动；预抽真空腔，设置于真空工艺腔侧面，预抽真空腔在一侧处经由第二阀门与真空工艺腔连通；电柜，设置于真空工艺腔侧面。该晶圆传输系统的机械手只需进行90度的旋转，减小了回转半径，可以有效减小腔体的体积，同时可以实现Z轴升降运动和X轴方向运动，增加运动的行程覆盖范围；将晶圆预对准设备直接设置在预抽真空腔中，减少一次传递步骤，节省时间，减少传输过程中的误差累积，提高了定位精度。

本发明授权一种晶圆传输系统及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传输系统，其特征在于，包括： 真空工艺腔2，其内部呈真空状态且设置有传输机构1，所述传输机构1包括移动单元11、顶升单元12和旋转单元13，所述顶升单元12安装于所述移动单元11，所述旋转单元13安装于所述顶升单元12，所述旋转单元13连接有第一机械手14和第二机械手15；所述移动单元11用于驱动所述顶升单元12和旋转单元13做往复运动，所述顶升单元12用于驱动所述旋转单元13做升降运动，所述旋转单元13用于驱动所述第一机械手14、第二机械手15做同轴反向旋转运动，旋转角度最大为90度； 预抽真空腔3，设置于所述真空工艺腔2侧面，所述预抽真空腔3在一侧处经由第二阀门6与所述真空工艺腔2连通，且在又一侧处设置有第一阀门5； 电柜4，设置于所述真空工艺腔2侧面； 所述旋转单元13包括传送带1314、以及安装于所述顶升单元12的第三驱动机构131、旋转轴138，所述第三驱动机构131的输出端连接有蜗轮132，所述蜗轮132啮合有蜗杆134，所述蜗杆134的一端固定连接有与其同步旋转的第一带轮135，另一端活动连接有能够绕其旋转的第二带轮136；所述旋转轴138固定连接有第四带轮1310和第一机械手固定座1312，所述旋转轴138、第四带轮1310、第一机械手固定座1312同步旋转；所述旋转轴138外套设有中部衬套1311，所述中部衬套1311外安装有第三带轮139、以及与所述第三带轮139固定连接的第二机械手固定座1313，所述第三带轮139、第二机械手固定座1313能够围绕所述旋转轴138同步旋转；所述传送带1314的一端与第一带轮135连接，另一端绕过所述第三带轮139、所述第四带轮1310与所述第二带轮136连接。

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