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中南大学张露获国家专利权

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龙图腾网获悉中南大学申请的专利基于人工神经网络的铸层应力预测方法、系统及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120611758B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511102730.7,技术领域涉及:G06N3/0499;该发明授权基于人工神经网络的铸层应力预测方法、系统及存储介质是由张露;李孟垚;李凯设计研发完成,并于2025-08-07向国家知识产权局提交的专利申请。

基于人工神经网络的铸层应力预测方法、系统及存储介质在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于人工神经网络的铸层应力预测方法、系统及存储介质,包括:以硅片作为电铸基底,电铸基底的一面抛光,另一面设置导电层;配置电铸槽、准直光源和波前传感器,调整准直光源、波前传感器与电铸槽的相对位置,使准直光源的光束经硅片的抛光面反射进入波前传感器;采用直流电流或脉冲电流,在电铸槽内进行电铸;通过数据采集模块采集电铸工艺数据和激光波前曲率半径;根据激光波前曲率半径计算应力值,并将应力值数据和电铸工艺数据转换为神经网络适配格式;选择网络类型、激活函数及超参数,训练人工神经网络模型以拟合电铸参数与应力值的非线性关系;应力预测:输入电铸参数至人工神经网络模型,输出预测的铸层应力值。

本发明授权基于人工神经网络的铸层应力预测方法、系统及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种基于人工神经网络的铸层应力预测方法,其特征在于,包括: S100、电铸基底前处理:以硅片作为电铸基底,对所述电铸基底的一面抛光,另一面设置导电层; S200、调整原位应力检测平台:配置电铸槽、光学测量模块,所述光学测量模块包括准直光源和波前传感器,调整所述准直光源、波前传感器与电铸槽的相对位置,使所述准直光源的光束经所述硅片的抛光面反射进入波前传感器; S300、电铸实验:采用直流电流或脉冲电流,在所述电铸槽内进行电铸; S400、数据采集:包括数据采集模块,通过所述数据采集模块采集电铸工艺数据和激光波前曲率半径; S500、数据处理:根据所述激光波前曲率半径计算应力值,并将所述应力值数据和所述电铸工艺数据转换为神经网络适配格式; S600、建立人工神经网络模型:选择网络类型、激活函数及超参数,训练所述人工神经网络模型以拟合电铸参数与应力值的非线性关系; S700、应力预测:输入电铸参数至训练后的所述人工神经网络模型,输出预测的铸层应力值。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中南大学,其通讯地址为:410000 湖南省长沙市岳麓区麓山南路932号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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