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龙图腾网获悉苏州中瑞宏芯半导体有限公司申请的专利一种半导体芯片冲洗装置及其清洗方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120613298B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511122356.7，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种半导体芯片冲洗装置及其清洗方法是由郝建勇;王悦;张振中设计研发完成，并于2025-08-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体芯片冲洗装置及其清洗方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体芯片技术领域，具体为一种半导体芯片冲洗装置及其清洗方法，包括清洗台，所述清洗台中部的内壁设置有清洗架，所述清洗台包括清洗水回收箱，所述清洗水回收箱的后侧固定连接有U型立板，所述U型立板的后侧顶部固定连接有清洁水箱，本发明通过设置有清洗台与清洗架，实现了对晶圆的快速清洗，通过对一个晶圆冲洗的同时对另一个晶圆利用循环水进行预冲洗，有效的提高了清洗效率，并确保了晶圆表面的洁净度，此外，该装置通过传动机构设计，实现了晶圆朝向的快速切换，进一步提升了整体的工作效率，同时，通过清洗水的回收利用设计不仅节约了水资源，还降低了生产成本，符合绿色生产的理念。

本发明授权一种半导体芯片冲洗装置及其清洗方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体芯片冲洗装置，包括清洗台1，其特征在于：所述清洗台1中部的内壁设置有清洗架2； 所述清洗台1包括清洗水回收箱11，所述清洗水回收箱11的后侧固定连接有U型立板12，所述U型立板12的后侧顶部固定连接有清洁水箱14； 所述清洗架2包括清洗转台21，所述清洗转台21的顶部内侧设置有晶圆固定组件22；所述晶圆固定组件22可整体进行翻转； 所述U型立板12的前侧顶部固定连接有喷头连接板13，所述喷头连接板13的内壁固定连接有喷头16，所述喷头16的顶部固定连接有水管15，所述水管15远离喷头16的一端固定连接在清洁水箱14的顶部，所述清洗水回收箱11的顶部中部固定连接有回收箱入料漏斗113， 所述晶圆固定组件22包括固定框221，所述固定框221的左右两侧中部皆固定连接有柱状齿轮连接横杆226，两个所述柱状齿轮连接横杆226的外壁皆转动连接在两个升降侧块21634的内壁中部，两个所述柱状齿轮连接横杆226的外端皆延伸至两个升降侧块21634的外侧且均固定连接有第二齿轮227，所述固定框221顶部与底部的左右两侧中部均固定连接有侧立板228， 上下两组所述侧立板228内侧相互远离的一侧均固定连接有圆托盘229，两个所述圆托盘229的外壁均环形阵列转动连接有铰接侧块2210，上下两组所述铰接侧块2210的内壁均转动连接有Z型转动夹块2211，上下两组所述Z型转动夹块2211的内侧均固定连接有柱状推拉块2212，上下两组所述柱状推拉块2212的内端固定连接有升降推盘2213，两个所述升降推盘2213内侧的前后两侧皆固定连接在两个双向气动推杆222的顶端与底端。

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