浙江中科应用技术研究院;嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心王浙加获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江中科应用技术研究院;嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心申请的专利一种用于ALD设备的冷阱装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223416990U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422853078.X，技术领域涉及：B01D53/00；该实用新型一种用于ALD设备的冷阱装置是由王浙加;沈越;明帅强;沈云华;李明;张亦哲;戴昕童;闻梦瑶设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于ALD设备的冷阱装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于尾气冷阱处理技术领域，涉及一种用于ALD设备的冷阱装置，包括：冷阱壳体，用于承装反应物质；所述冷阱壳体具有进气管、容纳腔和出气管，所述容纳腔分别与所述进气管和所述出气管连通；冷阱内腔，用于容纳冷却物质；所述冷阱内腔设置于所述容纳腔中，且所述冷阱内腔的开口边缘与所述冷阱壳体的开口边缘密封连接；冷却管，用于承装冷却液体；所述冷却管设置于所述冷阱内腔，且与所述冷阱壳体连接。本申请提供的一种用于ALD设备的冷阱装置采用冷阱内外腔设计，更好地提高了冷却介质的温度均匀性，底部具有粉末汇集腔，提高了粉末排出的便捷性；本申请具有对过量的前驱体和反应副产物进行充分冷却以有效捕捉尾气内所含副产物的优良特性。
本实用新型一种用于ALD设备的冷阱装置在权利要求书中公布了：1.一种用于ALD设备的冷阱装置，其特征在于，包括： 冷阱壳体，用于承装反应物质；所述冷阱壳体具有进气管、容纳腔和出气管，所述容纳腔分别与所述进气管和所述出气管连通； 冷阱内腔，用于容纳冷却物质；所述冷阱内腔设置于所述容纳腔中，且所述冷阱内腔的开口边缘与所述冷阱壳体的开口边缘密封连接； 冷却管，用于承装冷却液体；所述冷却管设置于所述冷阱内腔，且与所述冷阱壳体连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江中科应用技术研究院;嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心，其通讯地址为：314006 浙江省嘉兴市亚太路778号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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