北京北方华创微电子装备有限公司李浩瀚获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利尾气处理组件和半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223416993U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422672450.7，技术领域涉及：B01D53/04；该实用新型尾气处理组件和半导体工艺设备是由李浩瀚;贾岩;盖守新;王凯;姚晶;周文飞;李文豪设计研发完成，并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本尾气处理组件和半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请公开一种尾气处理组件和半导体工艺设备，涉及半导体技术领域。该尾气处理组件包括依次设置的过滤装置、缓冲装置和废气处理装置，所述缓冲装置与所述废气处理装置相连通，所述过滤装置包括具有容纳腔的外壳以及设置在所述容纳腔内的吸附组件和释放组件，其中，所述外壳设有进气口、第一排气口和第二排气口，所述进气口用于与半导体工艺腔室的尾气出口相连通，所述进气口、所述第一排气口和所述缓冲装置可依次相连通，以形成废气处理通道，所述进气口和所述第二排气口可依次相连通，以形成排气通道。该方案能够解决目前废气处理装置限制半导体工艺腔室内的工艺进程的问题。
本实用新型尾气处理组件和半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种尾气处理组件，其特征在于，包括依次设置的过滤装置100、缓冲装置200和废气处理装置300，所述缓冲装置200与所述废气处理装置300相连通，所述过滤装置100包括具有容纳腔的外壳110以及设置在所述容纳腔内的吸附组件120和释放组件130，其中， 所述外壳110设有进气口111、第一排气口112和第二排气口113，所述进气口111用于与半导体工艺腔室400的尾气出口410相连通，所述进气口111、所述第一排气口112和所述缓冲装置200可依次相连通，以形成废气处理通道，所述进气口111和所述第二排气口113可依次相连通，以形成排气通道。
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