杭州富芯半导体有限公司苏文华获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州富芯半导体有限公司申请的专利除水装置和半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223417013U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422663980.5，技术领域涉及：B01D53/26；该实用新型除水装置和半导体设备是由苏文华;刘磊设计研发完成，并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本除水装置和半导体设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种除水装置和半导体设备，该除水装置包括壳体、冷却管道、冷却组件以及排气管道，壳体的内部具有能够与制程腔相连通的冷却腔，冷却组件位于冷却腔内；冷却组件包括冷却头以及安装于冷却头上的多个冷凝盘，多个冷凝盘沿冷却头的轴向上下间隔设置，且冷凝盘为中空结构；冷却管道与冷凝盘相连通，以将冷却剂通入冷凝盘内；排气管道的一端与冷却腔相连通，排气管道的另一端用于与真空泵相连通。本实用新型可以快速去除制程腔里的水汽，大大减少排气的时间，提高半导体设备机台复机效率并且可以有效地减少排气时的水汽含量，从而避免对高压高温敏感器件造成损害。
本实用新型除水装置和半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种除水装置，其特征在于，包括壳体、冷却管道、冷却组件以及排气管道，所述壳体的内部具有能够与制程腔相连通的冷却腔，所述冷却组件位于所述冷却腔内； 所述冷却组件包括冷却头以及安装于所述冷却头上的多个冷凝盘，所述多个冷凝盘沿所述冷却头的轴向上下间隔设置，且所述冷凝盘为中空结构； 所述冷却管道与所述冷凝盘相连通，以将冷却剂通入所述冷凝盘内； 所述排气管道的一端与所述冷却腔相连通，所述排气管道的另一端用于与真空泵相连通。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州富芯半导体有限公司，其通讯地址为：311418 浙江省杭州市富阳区灵桥镇滨富大道135号(滨富合作区)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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