上海晶福机电科技有限公司程童莲获国家专利权
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龙图腾网获悉上海晶福机电科技有限公司申请的专利一种氢氟酸调配供应系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223417185U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422165851.3，技术领域涉及：B01F35/71；该实用新型一种氢氟酸调配供应系统是由程童莲设计研发完成，并于2024-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氢氟酸调配供应系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种氢氟酸调配供应系统。解决了在半导体制造过程中，氢氟酸供应控制存在的效率低、精度差、安全性不足以及缺乏灵活性的问题。包括氢氟酸调配供应控制柜和调配罐；其中，所述调配罐设有无水氢氟酸源接口和超纯水源接口，所述调配罐连接氢氟酸第一运输管道的第一端，所述氢氟酸第一运输管道的第二端进入所述氢氟酸调配供应控制柜柜体，连接第一过滤器的进口端，第一过滤器的出口端连接第二过滤器的进口端，第二过滤器的出口端连接氢氟酸供应接口。实现了工业用氢氟酸的持续的供应，提高了工业用氢氟酸的供应效率。
本实用新型一种氢氟酸调配供应系统在权利要求书中公布了：1.一种氢氟酸调配供应系统，其特征在于，包括氢氟酸调配供应控制柜和调配罐；其中，所述调配罐设有无水氢氟酸源接口和超纯水源接口，所述调配罐连接氢氟酸第一运输管道的第一端，所述氢氟酸第一运输管道的第二端进入所述氢氟酸调配供应控制柜柜体，连接第一过滤器的进口端，第一过滤器的出口端连接第二过滤器的进口端，第二过滤器的出口端连接氢氟酸供应接口。
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