江苏环洋组合机床有限公司朱天白获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏环洋组合机床有限公司申请的专利一种碳化硅晶片磨削床结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223419181U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422082734.0,技术领域涉及:B24B19/22;该实用新型一种碳化硅晶片磨削床结构是由朱天白;吴宣东;单水林设计研发完成,并于2024-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碳化硅晶片磨削床结构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种碳化硅晶片磨削床结构,其特征在于:包括磨削基座、磨削平台、真空吸附台和磨削轮组;通过采用磨削床的方式将碳化硅晶锭采用真空吸附的方式吸附在真空吸附台上,在进行碳化硅晶片的加工中,利用多个工位进行碳化硅晶片的表面磨削式加工;这种加工方式相比于研磨式加工效率更高,且采用的金刚石耗材更少,加工精度采用粗削和精削加工配合,以达到碳化硅晶锭表面粗糙度的要求,极大的提高了加工效率,且对碳化硅晶锭材料的耗材少,降低了成本。
本实用新型一种碳化硅晶片磨削床结构在权利要求书中公布了:1.一种碳化硅晶片磨削床结构,其特征在于:包括磨削基座、磨削平台、真空吸附台和磨削轮组; 所述磨削基座的上表面上设置有纵向导轨,且位于纵向导轨的一端垂直于磨削基座的上表面上设置有磨削轮组架,所述磨削轮组架上设置有驱动磨削轮组升降的升降单元; 所述磨削平台包括纵向平台和横向平台;所述纵向平台的底端设置有与纵向导轨配合的第一气动滑块,且纵向平台的下表面第一气动滑块与磨削基座的上表面的纵向导轨配合形成第一气动滑块导轨组,实现带动纵向平台沿着纵向导轨的延伸方向往复移动,所述纵向平台的上表面上设置有横向导轨;所述横向平台的底端设置有与横向导轨配合的第二气动滑块,且横向平台的下表面的第二气动滑块与纵向平台的上表面的横向导轨配合形成第二气动滑块导轨组,实现带动横向平台沿着横向导轨的延伸方向往复移动;所述横向平台的上表面上设置有固定座; 所述真空吸附台具有若干个且呈一直线分布设置在横向平台上表面的固定座上;所述真空吸附台的侧边设置有抽真空孔,真空吸附台的表面上设置有与抽真空孔导通的负压吸附孔组; 所述磨削轮组安装在磨削轮组架上的升降单元上,跟随升降单元在竖直方向运动;所述磨削轮组包括至少一对磨削轮单元,所述磨削轮单元包括粗磨削轮单元和精磨削轮单元,粗磨削轮单元和精磨削轮单元在磨削轮组架上形成两个磨削工位。
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