江苏元夫半导体科技有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏元夫半导体科技有限公司申请的专利一种化学机械抛光设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223419234U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422937618.2，技术领域涉及：B24B37/00；该实用新型一种化学机械抛光设备是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学机械抛光设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种化学机械抛光设备，该设备包括前置模组、抛光模组、清洗模组、转移模组以及接液模组，其中，转移模组包括第一驱动组件和拾取件，拾取件用于拾取产品，第一驱动组件用于驱动拾取件移动，以将前置模组检出的产品在抛光模组和清洗模组之间转移，接液模组包括接液盘和第二驱动组件，第二驱动组件用于驱动接液盘跟随拾取件在拾取件和或产品的正下方移动，以使接液盘收集从拾取件和或产品上落下的液体。本申请能够使接液盘减小对维护空间的占用，有利于方便进行维护，也能够减小接液盘的重量，进而有利于方便接液盘的拆卸安装。
本实用新型一种化学机械抛光设备在权利要求书中公布了：1.一种化学机械抛光设备，其特征在于，包括： 前置模组，所述前置模组用于产品的检出和检入； 抛光模组，所述抛光模组用于抛光所述前置模组检出的未抛光的所述产品； 清洗模组，所述清洗模组用于清洗已抛光的所述产品； 转移模组，所述转移模组包括第一驱动组件和拾取件，所述拾取件用于拾取所述产品，所述第一驱动组件用于驱动所述拾取件移动，以将所述前置模组检出的所述产品在所述抛光模组和所述清洗模组之间转移； 接液模组，所述接液模组包括接液盘和第二驱动组件，所述第二驱动组件用于驱动所述接液盘跟随所述拾取件在所述拾取件和或所述产品的正下方移动，以使所述接液盘收集从所述拾取件和或所述产品上落下的液体。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏元夫半导体科技有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区行创四路7号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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