北京北方华创微电子装备有限公司王宁获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利工艺腔室及半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223422757U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422836727.5，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型工艺腔室及半导体工艺设备是由王宁;王通设计研发完成，并于2024-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本工艺腔室及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种工艺腔室及半导体工艺设备，涉及半导体领域。一种工艺腔室，包括：腔体、承载装置、升降装置、限位装置、调节装置和测距装置；承载装置设于腔体内，升降装置连接于腔体的外侧，承载装置至少部分延伸出腔体并与升降装置的升降端连接；限位装置包括限位挡件和第一限位件，限位挡件与升降端连接，在升降方向上，第一限位件位于限位挡件的靠近承载装置的一侧；调节装置连接于腔体的外侧，调节装置与第一限位件连接，用于带动第一限位件在升降方向上移动；测距装置连接于腔体，并与升降装置和调节装置分别电连接。本申请至少能够解决相关技术中调节精度较低、调节操作难度高及不打开腔室无法调节等问题。
本实用新型工艺腔室及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种工艺腔室，其特征在于，包括：腔体100、承载装置200、升降装置300、限位装置400、调节装置500和测距装置600； 所述承载装置200设于所述腔体100内，所述升降装置300连接于所述腔体100的外侧，所述承载装置200至少部分延伸出所述腔体100并与所述升降装置300的升降端连接； 所述限位装置400包括限位挡件410和第一限位件420，所述限位挡件410与所述升降端连接，在升降方向上，所述第一限位件420位于所述限位挡件410的靠近所述承载装置200的一侧； 所述调节装置500连接于所述腔体100的外侧，所述调节装置500与所述第一限位件420连接，用于带动所述第一限位件420在所述升降方向上移动； 所述测距装置600连接于所述腔体100，用于测量所述测距装置600的测距端与所述承载装置200的背离承载面211的端面之间的距离，且所述测距装置600与所述升降装置300及所述调节装置500分别电连接。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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