光驰科技(上海)有限公司罗欣获国家专利权
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龙图腾网获悉光驰科技(上海)有限公司申请的专利基板承载装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223422759U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521746675.0，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型基板承载装置是由罗欣;龙汝磊;吴萍;史一贺设计研发完成，并于2025-08-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板承载装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于真空处理技术领域，公开了一种基板承载装置。该基板承载装置包括壳体、装载组件和驱动组件，壳体内设有封闭腔室，装载组件包括置于封闭腔室内的旋转结构以及第一回转支承件，旋转结构通过第一回转支承件连接于封闭腔室的内腔壁，旋转结构用于固定基板，驱动组件至少部分置于封闭腔室内驱动旋转结构转动以带动基板转动。通过设置旋转结构和第一回转支承件，旋转结构通过第一回转支承件连接于内腔壁，那么将基板固定在旋转结构上，既能够利用旋转结构和内腔壁承载基板，也能够利用驱动组件驱动旋转结构转动从而带动基板转动，保证镀膜均匀性，有效提高了承载能力，能够适用于重量较大的基板。
本实用新型基板承载装置在权利要求书中公布了：1.基板承载装置，其特征在于，包括壳体10、装载组件20和驱动组件30，所述壳体10内设有封闭腔室，所述装载组件20包括置于所述封闭腔室内的旋转结构201以及第一回转支承件26，所述旋转结构201通过所述第一回转支承件26连接于所述封闭腔室的内腔壁上，所述旋转结构201用于固定基板41，所述驱动组件30至少部分置于所述封闭腔室内用于驱动所述旋转结构201转动以带动所述基板41转动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人光驰科技(上海)有限公司，其通讯地址为：200444 上海市宝山区宝山城市工业园区城银路267, 297号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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