大连皓宇电子科技有限公司李玉慧获国家专利权
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龙图腾网获悉大连皓宇电子科技有限公司申请的专利一种化学气相沉积设备隔绝腔室互通的隔离组件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223422761U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422725854.8，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型一种化学气相沉积设备隔绝腔室互通的隔离组件是由李玉慧;张正中;滕文聪;赵越设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学气相沉积设备隔绝腔室互通的隔离组件在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种化学气相沉积设备隔绝腔室互通的隔离组件，包括：阀口、阀板、传动件、气缸和安装支座；安装支座设置在负载锁定腔室腔体上，气缸固定在安装支座上，气缸倾斜设置在负载锁定腔室腔体上，传动件固定在气缸的活塞杆上，阀板设置在传动件远离气缸的一端，阀板与开设在反应腔室腔体上的阀口相对设置，阀板靠近阀口的一侧设有密封圈；气缸能够驱动阀板沿气缸的行程方向垂直靠近或远离阀口，以实现阀口的封闭或开启，当阀板远离阀口时，阀板能够避让传递晶圆的机械手的运动路径；阀板能够相对于传动件转动和锁定，阀板的回转中心线垂直于气缸的行程方向。以克服现有狭缝阀组件存在的问题。
本实用新型一种化学气相沉积设备隔绝腔室互通的隔离组件在权利要求书中公布了：1.一种化学气相沉积设备隔绝腔室互通的隔离组件，其特征在于，包括：阀口1、阀板2、传动件3、气缸8和安装支座10； 所述安装支座10设置在负载锁定腔室腔体B上，所述气缸8固定在安装支座10上，所述气缸8倾斜设置在负载锁定腔室腔体B上，所述传动件3固定在气缸8的活塞杆上，所述阀板2设置在所述传动件3远离气缸8的一端，所述阀板2与开设在反应腔室腔体A上的阀口1相对设置，所述阀板2靠近阀口1的一侧设有密封圈6； 所述气缸8能够驱动阀板2沿所述气缸8的行程方向垂直靠近或远离所述阀口1，以实现所述阀口1的封闭或开启，当所述阀板2远离所述阀口1时，所述阀板2能够避让传递晶圆的机械手的运动路径； 所述阀板2能够相对于所述传动件3转动和锁定，所述阀板2的回转中心线垂直于所述气缸8的行程方向。
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