浙江中科应用技术研究院;嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心王浙加获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江中科应用技术研究院;嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心申请的专利一种用于ALD设备的固态源瓶获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223422763U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422852914.2，技术领域涉及：C23C16/448；该实用新型一种用于ALD设备的固态源瓶是由王浙加;王梓康;明帅强;沈云华;李明;张亦哲;戴昕童;李国庆设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于ALD设备的固态源瓶在说明书摘要公布了：本实用新型属于前驱体源源瓶技术领域，涉及一种用于ALD设备的固态源瓶，包括：存储瓶体，用于存储固态源粉末；加热组件，用于加热所述存储瓶体内的固态源粉末使其升华得到气态源粉末；所述加热组件设置于所述存储瓶体上；进料组件，用于向所述存储瓶体内输送固态源粉末；所述进料组件设置于所述存储瓶体上；出气组件，用于排出气态源粉末；所述出气组件设置于所述存储瓶体上。本申请提供的一种用于ALD设备的固态源瓶采用加热棒的加热形式比缠绕的加热丝加热更均匀，维护更方便，导热片可使固态前驱体受热更均匀性，利用率更高；本申请具有固态前驱体受热均匀、灌装量大、利用率高的优良特性。
本实用新型一种用于ALD设备的固态源瓶在权利要求书中公布了：1.一种用于ALD设备的固态源瓶，其特征在于，包括： 存储瓶体，用于存储固态源粉末； 加热组件，用于加热所述存储瓶体内的固态源粉末使其升华得到气态源粉末；所述加热组件设置于所述存储瓶体上； 进料组件，用于向所述存储瓶体内输送固态源粉末；所述进料组件设置于所述存储瓶体上； 出气组件，用于排出气态源粉末；所述出气组件设置于所述存储瓶体上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江中科应用技术研究院;嘉兴中科微电子仪器与设备工程中心，其通讯地址为：314006 浙江省嘉兴市亚太路778号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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