拓荆科技(上海)有限公司方成获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技(上海)有限公司申请的专利一种组装式加热喷淋盘机构及其薄膜沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223422765U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422735981.6，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种组装式加热喷淋盘机构及其薄膜沉积设备是由方成设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种组装式加热喷淋盘机构及其薄膜沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种组装式加热喷淋盘机构，其包括：加热盘底座，嵌设于所述加热盘底座内的发热丝，连接于所述加热盘底座顶部的挡板，以及连接于所述加热盘底座顶部的孔板；其中，所述加热盘底座内设有输入孔，所述挡板盖设于所述输入孔，所述孔板与所述加热盘底座之间共同围合成一喷淋腔，所述挡板设置于所述喷淋腔内，所述孔板与所述加热盘底座之间可拆式连接。本实施例的组装式加热喷淋盘机构，其将孔板与加热盘底座，以及挡板与加热盘底座之间均采用螺钉可拆式连接，相较于现有焊接方式，其可以根据需要进行拆装更换等，同时也便于后续将各部件拆开进行内部清洗处理，其结构简单，解决了焊接工艺复杂、成本高的问题。
本实用新型一种组装式加热喷淋盘机构及其薄膜沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种组装式加热喷淋盘机构，其特征在于，包括：加热盘底座，嵌设于所述加热盘底座内的发热丝，连接于所述加热盘底座顶部的挡板，以及连接于所述加热盘底座顶部的孔板；其中，所述加热盘底座内设有输入孔，所述挡板设于所述输入孔的出口端上方，所述孔板与所述加热盘底座之间共同围合成一喷淋腔，所述挡板设置于所述喷淋腔内，所述孔板与所述加热盘底座之间可拆式连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拓荆科技(上海)有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区鸿音路1211号10幢304室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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