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龙图腾网获悉大连皓宇电子科技有限公司申请的专利一种应用于PECVD300机台气路的保护系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223422766U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422793341.0，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种应用于PECVD300机台气路的保护系统是由范震;袁善旭设计研发完成，并于2024-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种应用于PECVD300机台气路的保护系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种应用于PECVD300机台气路的保护系统，包括气体存储装置、系统控制器、设有气态物质互锁开关电路的气路保护模块、气柜以及气体反应腔室；气体存储装置包括若干气体子装置；系统控制器分别与气体存储装置、气路保护模块电连接，用于发送气体子装置控制命令与气态物质互锁控制命令；与各气体子装置连接的传输管路布设在气柜内，且传输管路设有管路关断阀；气体存储装置通过气体子装置控制命令，控制对应的气体子装置向传输管路中输送相应的气体；气态物质互锁开关电路包括布设在传输管路上，用于控制管路关断阀启闭的多个继电器开关；且多个继电器开关在气态物质互锁控制命令下，通过自身的启闭，以调整传输管路的气体传输路径，进而实现向气体反应腔室输送互锁气体。解决了在现有PECVD工作时，没有必要且可靠的气路保护机制以确保每种气体的供应受到严格控制，并且只有在安全条件下才能进行切换，因此其一旦出现系统故障或操作失误等情况，导致有害气体混合，将造成非常严重的损失的问题。

本实用新型一种应用于PECVD300机台气路的保护系统在权利要求书中公布了：1.一种应用于PECVD300机台气路的保护系统，其特征在于，包括气体存储装置、系统控制器、设有气态物质互锁开关电路的气路保护模块、气柜以及气体反应腔室； 气体存储装置包括若干用于收集并存储应用于PECVD300机台的气态物质的气体子装置； 系统控制器分别与气体存储装置、气路保护模块电连接，用于发送气体子装置控制命令与气态物质互锁控制命令； 与各气体子装置连接的传输管路布设在气柜内，且传输管路设有管路关断阀； 传输管路的一端与气体存储装置连接，另一端与气体反应腔室连通； 气体存储装置通过气体子装置控制命令，控制对应的气体子装置向传输管路中输送相应的气体； 气态物质互锁开关电路包括布设在传输管路上，用于控制管路关断阀启闭的多个继电器开关；且多个继电器开关在气态物质互锁控制命令下，通过自身的启闭，以调整传输管路的气体传输路径，进而实现向气体反应腔室输送互锁气体。

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