上海衍梓智能科技有限公司郑国获国家专利权
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龙图腾网获悉上海衍梓智能科技有限公司申请的专利一种衬底检测装置及衬底处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223422767U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422293556.6，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型一种衬底检测装置及衬底处理设备是由郑国;王善奇设计研发完成，并于2024-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种衬底检测装置及衬底处理设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种衬底检测装置及衬底处理设备。所述衬底检测装置与反应腔体配合设置，其包括光路检测组件以及两组直线模组。光路检测组件包括位于反应腔体相对应一侧位置处的光线发射器、位于反应腔体相对应另一侧位置处的光线接收器。当衬底存在时，光线发射器发出的光线照射到衬底后反射，对应光线接收器接收反射的光线，当衬底不存在时，光线接收器无法接收到对应光线发射器发出的光线，如此可检测衬底是否置放在晶圆承载座上，确保晶圆承载座上衬底有序精确放置，克服因机械手故障或晶圆承载座位置错误导致部分层位上没有放置衬底，而另一些层位上放置二个衬底，造成衬底受损的问题。
本实用新型一种衬底检测装置及衬底处理设备在权利要求书中公布了：1.一种衬底检测装置，其与反应腔体1配合设置，其特征在于，所述检测装置包括： 光路检测组件，其设于所述反应腔体1外并分布于所述反应腔体1纵向轴线两侧处；光路检测组件包括位于所述反应腔体1相对应一侧位置处的光线发射器3、位于所述反应腔体1相对应另一侧位置处的光线接收器4； 其中，当光线接收器4无法接收到对应光线发射器3发出的光线时，确认衬底不存在；当光线发射器3发出的光线照射到衬底后反射，对应光线接收器4接收反射的光线时，确认衬底存在； 或，当光线接收器4接收到光线发射器3发出的光线时，确认衬底不存在；当光线发射器3发出的光线照射到衬底被隔挡，光线接收器4接收不到反射的光线时，确认衬底存在。
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