浙江晶信绿钻科技有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司郑丽霞获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江晶信绿钻科技有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司申请的专利MOCVD镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223422769U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422879345.0，技术领域涉及：C23C16/458；该实用新型MOCVD镀膜设备是由郑丽霞;付春雷;康亚军设计研发完成，并于2024-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本MOCVD镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种MOCVD镀膜设备，属于半导体加工技术领域，解决了现有技术MOCVD镀膜设备镀膜质量欠佳的问题。本实用新型包括壳体，壳体内形成一反应腔，反应腔连通有进气管，进气管用于输送前驱体；基台，基台设置于反应腔内，基台用于承载基片；加热组件，加热组件设置于基台下方，且加热组件作用于基台以进行加热；调整组件，调整组件包括顶压件和施力件，顶压件设置于反应腔内，且顶压件与基台连接，施力件至少部分位于反应腔外，且施力件与顶压件连接，施力件具有水平方向的活动自由度。本申请通过设置调整组件可以调整基台的水平位置，从而纠正基台上基片的位置，以此保证基片位于反应腔中心，提高金属沉积的均匀度，即提高了镀膜质量。
本实用新型MOCVD镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种MOCVD镀膜设备，其特征在于，包括： 壳体100，所述壳体100内形成一反应腔110，所述反应腔110用于供物料反应，所述反应腔110连通有进气管120，所述进气管120用于输送前驱体； 基台200，所述基台200设置于所述反应腔110内，所述基台200用于承载基片； 加热组件300，所述加热组件300设置于所述基台200下方，且所述加热组件300作用于所述基台200以进行加热；以及 调整组件400，所述调整组件400包括： 顶压件410，所述顶压件410设置于所述反应腔110内，且所述顶压件410与所述基台200连接； 施力件420，所述施力件420至少部分位于所述反应腔110外，且所述施力件420与所述顶压件410连接，所述施力件420具有水平方向的活动自由度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江晶信绿钻科技有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司，其通讯地址为：312300 浙江省绍兴市上虞区曹娥街道五星西路218号1幢102室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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