拓荆科技(上海)有限公司汪光哲获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技(上海)有限公司申请的专利一种加热盘升降底座及薄膜沉积设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223422771U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423008261.6,技术领域涉及:C23C16/46;该实用新型一种加热盘升降底座及薄膜沉积设备是由汪光哲;关帅;吴凤丽设计研发完成,并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种加热盘升降底座及薄膜沉积设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种加热盘升降底座及薄膜沉积设备,加热盘升降底座包括基座;调节块,设于基座上,调节块上侧的四周设有多个第一调节孔;安装座,设于调节块上以用于安装加热盘;第一调节件,多个第一调节件分别设于安装座的四周且与第一调节孔配合,第一调节件用于沿第一调节孔的高度方向移动以带动安装座的四周调节其水平度。本申请的加热盘升降底座可以更加可靠地调节加热盘的水平状态,水平调节精准性高且调节起来更加方便。
本实用新型一种加热盘升降底座及薄膜沉积设备在权利要求书中公布了:1.一种加热盘升降底座,其特征在于,包括: 基座; 调节块,设于所述基座上,所述调节块上侧的四周设有多个第一调节孔; 安装座,设于所述调节块上以用于安装加热盘; 第一调节件,多个所述第一调节件分别设于所述安装座的四周且与所述第一调节孔配合,其中,所述第一调节件用于沿所述第一调节孔的高度方向移动以带动所述安装座的四周调节其水平度。
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