湖北星辰技术有限公司胡文海获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北星辰技术有限公司申请的专利一种反应物温度控制装置及化学气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223422772U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422698062.6，技术领域涉及：C23C16/52；该实用新型一种反应物温度控制装置及化学气相沉积设备是由胡文海设计研发完成，并于2024-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种反应物温度控制装置及化学气相沉积设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种反应物温度控制装置及化学气相沉积设备，涉及半导体制备技术领域，本申请的反应物温度控制装置，包括储物罐以及设置在储物罐上的加热组件，储物罐上还设置有温度传感器和温控开关，温度传感器和加热组件还分别连接温度控制器，储物罐具有第一预设温度范围的第一状态和具有第二预设温度范围的第二状态，第一预设温度范围在第二预设温度范围内，温度控制器控制加热组件加热使得储物罐由第二状态转换为第一状态并保持在第一状态，温度控制器还与温控开关连接，以在储物罐由第一状态转换为第二状态后触发报警信号。本申请提供的反应物温度控制装置及化学气相沉积设备，能够提高反应物温度控制装置的稳定性，以提高薄膜厚度的均匀性。
本实用新型一种反应物温度控制装置及化学气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种反应物温度控制装置，其特征在于，包括储物罐以及设置在所述储物罐上的加热组件，所述储物罐上还设置有温度传感器和温控开关，所述温度传感器和所述加热组件还分别连接温度控制器，所述储物罐具有第一预设温度范围内的第一状态和具有第二预设温度范围内的第二状态，所述第一预设温度范围在所述第二预设温度范围内，所述温度控制器控制所述加热组件加热使得所述储物罐由第二状态转换为第一状态并保持在第一状态，所述温度控制器还与所述温控开关连接，以在所述储物罐由第一状态转换为第二状态后时触发报警信号。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人湖北星辰技术有限公司，其通讯地址为：430205 湖北省武汉市东湖新技术开发区流芳园横路12号汇成工业科创园2号楼11F(自贸区片区)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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