北京北方华创微电子装备有限公司马煜峰获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利承载装置及半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223422822U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422838523.5，技术领域涉及：C30B25/12；该实用新型承载装置及半导体工艺设备是由马煜峰设计研发完成，并于2024-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本承载装置及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种承载装置及半导体工艺设备，承载装置包括基座、边缘环以及多个弹性件，基座具有用于承载衬底的承载面；边缘环包括相连的外环体和压环，外环体环绕在基座外侧，压环位于基座上方，压环沿竖直方向的正投影覆盖基座的周向边缘区域；多个弹性件均设置在外环体与基座之间，多个弹性件环绕基座的周向间隔且均匀分布，弹性件沿其长度方向具有第一端和第二端，第一端与基座固定连接，第二端弹性抵接于边缘环；各个弹性件处于弹性变形状态。通过取消了定位销钉，本实用新型中边缘环套设至基座的外周并与各个弹性件的第二端相抵便能够完成安装，边缘环的安装灵活，进而提升了边缘环安装的便利性。
本实用新型承载装置及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种承载装置，适用于半导体工艺设备，其特征在于，包括： 基座，具有用于承载衬底的承载面； 边缘环，包括同轴设置且相连的外环体和压环，所述外环体环绕在所述基座的外侧，所述压环位于所述基座上方，所述压环沿竖直方向的正投影覆盖所述基座的周向边缘区域； 多个弹性件，均设置在所述外环体与所述基座之间，多个所述弹性件环绕所述基座的周向间隔且均匀分布，所述弹性件沿其长度方向具有第一端和第二端，所述第一端与所述基座固定连接，所述第二端弹性抵接于所述边缘环；各个所述弹性件处于弹性变形状态。
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