费勉仪器科技(南京)有限公司葛九文获国家专利权
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龙图腾网获悉费勉仪器科技(南京)有限公司申请的专利真空坩埚调节机构、真空炉源以及真空处理系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223422823U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422954730.7,技术领域涉及:C30B25/14;该实用新型真空坩埚调节机构、真空炉源以及真空处理系统是由葛九文;谢斌平;郭维;顾杰;张朱锋设计研发完成,并于2024-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空坩埚调节机构、真空炉源以及真空处理系统在说明书摘要公布了:本公开涉及真空设备技术领域,公开了一种真空坩埚调节机构、真空炉源以及真空处理系统。真空坩埚调节机构包括固定座、球铰座、球头座、坩埚座和多个调节栓。球铰座设置在固定座上,球铰座包括球面凹坑以及设置在球铰座的周边的多个调节孔。球头座包括球头和球头安装座。球头设置在球铰座的球面凹坑内,并能够沿球铰座的球面凹坑转动。球头安装座近端与球头的远端固定连接。坩埚座设置在球头安装座的远端,用于支撑坩埚。多个调节栓分别穿过球铰座的多个调节孔,且多个调节栓的远端与坩埚座的近端表面连接,用于调节坩埚的摆动角度。
本实用新型真空坩埚调节机构、真空炉源以及真空处理系统在权利要求书中公布了:1.一种真空坩埚调节机构,其特征在于,包括: 固定座; 球铰座,设置在所述固定座上,所述球铰座包括球面凹坑以及设置在所述球铰座的周边的多个调节孔; 球头座,包括: 球头,所述球头设置在所述球铰座的所述球面凹坑内,并能够沿所述球铰座的所述球面凹坑转动; 球头安装座,近端与所述球头的远端固定连接; 坩埚座,设置在所述球头安装座的远端,用于支撑坩埚;以及 多个调节栓,分别穿过所述球铰座的所述多个调节孔,且所述多个调节栓的远端与所述坩埚座的近端表面连接,用于调节所述坩埚的摆动角度。
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