江西兆驰半导体有限公司费发飞获国家专利权
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龙图腾网获悉江西兆驰半导体有限公司申请的专利一种节约氮气的持续性氮气加热器装置及硅片烘干设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223425674U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422960988.8，技术领域涉及：F26B21/14；该实用新型一种节约氮气的持续性氮气加热器装置及硅片烘干设备是由费发飞;曾宪瑞;赵晓明;段良飞;董国庆;文国昇;金从龙设计研发完成，并于2024-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种节约氮气的持续性氮气加热器装置及硅片烘干设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种节约氮气的持续性氮气加热器装置及硅片烘干设备，其中，节约氮气的持续性氮气加热器装置包括加热器，加热器一端设有出气管，加热器另一端设有进气管，加热器两端设有出口温度传感器和加热器温度传感器，进气管远离加热器一端连设有三通接头，节约氮气的持续性氮气加热器装置还包括与三通接头连通的氮气管和空气管，空气管上设有空气电磁阀，出气管上设有压力控制阀，节约氮气的持续性氮气加热器装置还包括用于控制和监控的控制器，本实用新型中的节约氮气的持续性氮气加热器装置，在干燥槽内无硅片烘干阶段，利用压缩干燥空气代替氮气输入干燥装置中，保证了干燥装置的正常工作的同时也节约了氮气的使用量。
本实用新型一种节约氮气的持续性氮气加热器装置及硅片烘干设备在权利要求书中公布了：1.一种节约氮气的持续性氮气加热器装置，包括加热器，其特征在于，所述加热器一端设有出气管，所述加热器远离所述出气管一端设有进气管，所述加热器靠近所述出气管一端设有出口温度传感器，所述加热器靠近所述进气管一端设有加热器温度传感器，所述进气管远离所述加热器一端设有三通接头，所述节约氮气的持续性氮气加热器装置还包括与所述三通接头相连的氮气管和空气管，所述氮气管上设有氮气电磁阀，所述空气管上设有空气电磁阀，所述节约氮气的持续性氮气加热器装置还包括控制器，所述出口温度传感器、所述加热器温度传感器、所述氮气电磁阀，及所述空气电磁阀均与所述控制器电性连接。
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