苏州国微纳半导体设备有限公司陈睿获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州国微纳半导体设备有限公司申请的专利一种稳定的半导体真空设备炉盖升降机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223425720U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422779458.3,技术领域涉及:F27D1/18;该实用新型一种稳定的半导体真空设备炉盖升降机构是由陈睿;陈以国;庞浩楠;孟晓燕设计研发完成,并于2024-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种稳定的半导体真空设备炉盖升降机构在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种稳定的半导体真空设备炉盖升降机构,包括对称设置的固定底座,所述固定底座与私服推杆结构连接,所述私服推杆结构与一个滑动组件连接,所述滑动组件与浮动结构连接,所述浮动结构与搭载块连接,所述搭载块与炉盖机构连接,所述浮动结构包括对称设置的L型块,两个所述L型块分别开设圆形孔和方形孔,所述圆形孔块与圆形锥块活动卡接,所述方形孔与方形锥块活动卡接,所述圆形锥块与方形锥块分别与一个搭载块连接,本实用新型有效解决了半导体真空设备炉盖升降对接的升降机构往往较繁琐,且性能不稳定,升降对接过程中可能会出现卡顿憋死的现象,炉盖开关密封不完全、不均匀的问题。
本实用新型一种稳定的半导体真空设备炉盖升降机构在权利要求书中公布了:1.一种稳定的半导体真空设备炉盖升降机构,包括对称设置的固定底座1,其特征在于:所述固定底座1与伺服推杆结构2连接,所述伺服推杆结构2与一个滑动组件4连接,所述滑动组件4与浮动结构3连接,所述浮动结构3与搭载块5连接,所述搭载块5与炉盖机构连接。
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