杭州富芯半导体有限公司赵国瑞获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州富芯半导体有限公司申请的专利光刻机循环水箱系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223426997U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423063480.4，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型光刻机循环水箱系统是由赵国瑞;康毅豪设计研发完成，并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本光刻机循环水箱系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种光刻机循环水箱系统，涉及半导体制造技术领域。该光刻机循环水箱系统中第一水循环管路与供水装置串联，第二水循环管路与光刻机串联，第三水循环管路与第一水循环管路并联。当第一水循环管路出现异常状态时，第一阀门与第二阀门关断第一水循环管路，采用与第一水循环管路并联设置的第三水循环管路来对第二水循环管路内的水进行降温，同时第二水循环管路对光刻机进行降温。采用该光刻机循环水箱系统，可以在第一水循环管路出现问题时，及时关断并转换水循环路径，保证光刻机的温度维持恒定，提高了后续晶圆产品的质量。
本实用新型光刻机循环水箱系统在权利要求书中公布了：1.一种光刻机循环水箱系统，其特征在于，包括： 第一水循环管路，第二水循环管路，第三水循环管路，第一阀门以及第二阀门； 所述第一水循环管路与供水装置串联，用于提供冷水以降低所述第二水循环管路内水的温度； 所述第一阀门与所述第二阀门均位于所述第一水循环管路上，且所述第一阀门的第一端与所述第一水循环管路的入水端口连接，所述第一阀门的第二端与所述第二阀门的第一端连接，所述第一阀门的第三端与所述第二阀门的第二端连接，所述第二阀门的第二端与所述第一水循环管路的出水端口连接，所述第一阀门与所述第二阀门用于关断所述第一水循环管路； 所述第二水循环管路与光刻机串联，用于降低所述光刻机的温度； 所述第三水循环管路与所述第一水循环管路并联，且所述第三水循环管路的第一端与所述第一阀门的第二端连接，所述第三水循环管路的第二端与所述第二阀门的第一端连接，所述第三水循环管路用于在所述第一水循环管路出现异常状态时，降低所述第二水循环管路内水的温度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人杭州富芯半导体有限公司，其通讯地址为：311418 浙江省杭州市富阳区灵桥镇滨富大道135号(滨富合作区)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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