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荣芯半导体(宁波)有限公司马风柱获国家专利权

龙图腾网获悉荣芯半导体(宁波)有限公司申请的专利去胶机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223426999U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423014979.6，技术领域涉及：G03F7/42；该实用新型去胶机是由马风柱;代勇;姚红佳;陈伏宏设计研发完成，并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本去胶机在说明书摘要公布了：一种去胶机，包括：去胶室，用于容纳具有光刻胶的晶圆；第一管路；压力计，所述压力计通过所述第一管路与所述去胶室连接，用于测量所述去胶室内的压力值；其中，所述第一管路平行于水平面设置。本申请可以避免水汽在第一管道内残留，进而降低去胶机出现故障的可能性，并提高晶圆的良率。

本实用新型去胶机在权利要求书中公布了：1.一种去胶机，其特征在于，所述去胶机包括：去胶室，用于容纳具有光刻胶的晶圆；第一管路；压力计，所述压力计通过所述第一管路与所述去胶室连接，用于测量所述去胶室内的压力值；其中，所述第一管路平行于水平面设置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人荣芯半导体(宁波)有限公司，其通讯地址为：315809 浙江省宁波市北仑区柴桥街道金水桥路28号4幢1号1层-1；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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