浙江创芯集成电路有限公司鄢林升获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利晶圆刻蚀设备及刻蚀系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223427456U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422269123.7，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型晶圆刻蚀设备及刻蚀系统是由鄢林升设计研发完成，并于2024-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆刻蚀设备及刻蚀系统在说明书摘要公布了：本公开实施例提供一种晶圆刻蚀设备及刻蚀系统，其中，所述晶圆刻蚀设备包括：具有腔室的壳体，所述壳体上设置有与所述腔室连通的观察孔；设置于所述腔室内，承载晶圆的承载台；设置于所述观察孔的第一位置处，且与所述观察孔的内壁密封配合的可视件；设置于所述观察孔的第二位置处，获取所述晶圆处于刻蚀过程中的影像数据的摄像组件；其中，所述第二位置位于所述可视件远离所述承载台的一侧。采用上述技术方案，能够实时获取晶圆在工艺过程的状态。
本实用新型晶圆刻蚀设备及刻蚀系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆刻蚀设备，其特征在于，包括： 具有腔室的壳体，所述壳体上设置有与所述腔室连通的观察孔； 设置于所述腔室内，承载晶圆的承载台； 设置于所述观察孔的第一位置处，且与所述观察孔的内壁密封配合的可视件； 设置于所述观察孔的第二位置处，通过所述可视件，获取所述晶圆处于刻蚀过程中的影像数据的摄像组件；其中，所述第二位置位于所述可视件远离所述承载台的一侧； 其中，所述观察孔的内壁设置有与所述可视件相抵触的限位部，所述可视件位于所述限位部远离所述承载台的一侧，且所述限位部为环形凸起，所述环形凸起和所述观察孔形成阶梯孔。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江创芯集成电路有限公司，其通讯地址为：311200 浙江省杭州市萧山区经济技术开发区建设三路733号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由AI智能生成
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励