无锡邑文微电子科技股份有限公司;江苏邑文微电子科技有限公司高修奎获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡邑文微电子科技股份有限公司;江苏邑文微电子科技有限公司申请的专利刻蚀设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223427461U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-10-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422665515.5，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型刻蚀设备是由高修奎;戴建波;石宇设计研发完成，并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本刻蚀设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆制造技术领域，具体公开了一种刻蚀设备，该刻蚀设备包括机架和电源柜，其中，机架的内部设有用于刻蚀的腔体；电源柜和机架二者中的一个设有安装槽，另一个设有盖合部，盖合部盖设于安装槽的开口并围成用于容纳元器件的电源腔体；电源柜的一侧设有铰接部，另一侧设有固接部；电源柜通过铰接部铰接于机架的外侧，且通过固接部与机架可拆卸连接，电源柜被布置成能贴合机架以围成电源腔体，或部分远离机架，以使得安装槽的开口敞开。上述设置降低了安装和维护的难度，改善用户使用体验。
本实用新型刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.刻蚀设备，其特征在于，包括： 机架100，所述机架100的内部设有用于刻蚀的腔体； 电源柜200，所述电源柜200和所述机架100二者中的一个设有安装槽，另一个设有盖合部，所述盖合部盖设于安装槽的开口并围成电源腔体；所述电源柜200的一侧设有铰接部221，另一侧设有固接部222；所述电源柜200通过所述铰接部221铰接于所述机架100的外侧，且通过所述固接部222与所述机架100可拆卸连接，所述电源柜200被布置成能贴合所述机架100以围成电源腔体，或部分远离所述机架100，以使得安装槽的开口敞开。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡邑文微电子科技股份有限公司;江苏邑文微电子科技有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区观山路1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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